浙江大学陈芳获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种SEM环境中微柱压缩实验的压头微柱同轴对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119688445B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411988012.X，技术领域涉及：G01N3/02；该发明授权一种SEM环境中微柱压缩实验的压头微柱同轴对准方法是由陈芳;庄锦;楼莉萍;裘雅渔;丁晓坤;赵翌帆设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种SEM环境中微柱压缩实验的压头微柱同轴对准方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种SEM环境中微柱压缩实验的压头微柱同轴对准方法，先调整微柱位置使压头位于微柱上方并处于扫描电镜的同一视野中，再使微柱移动至微柱的中线与压头的中线上下共线，接着获得景深，确定微柱的景深边界点，将微柱从景深边界点向后移动Δf2+R‑r距离，完成压头与微柱同轴对准。本发明利用纳米力学测试系统和扫描电子显微镜的联用，结合特定的操作步骤，能够实现压头与微柱的精确对准，方法简便，易于操作，有利于减小微柱压缩的测试误差。
本发明授权一种SEM环境中微柱压缩实验的压头微柱同轴对准方法在权利要求书中公布了：1.一种SEM环境中微柱压缩实验的压头微柱同轴对准方法，其特征在于，包括以下步骤： 1将微柱的基底安装在扫描电镜的底座上，使纳米力学测试系统中的压头与微柱处于扫描电镜的同一视野中，并测量得到微柱半径rμm； 2抬高微柱的基底，使压头的底面与压头在微柱的基底上的投影上下重合； 3降低微柱的基底，调整微柱位置使压头位于微柱上方并处于扫描电镜的同一视野中； 4调整微柱的基底位置，使微柱移动至微柱的中线与压头的中线上下共线； 5将压头边缘处聚焦清晰后，前后移动微柱至微柱的前表面轮廓清晰，此时以压头边缘处为中心，利用SEM成像平面上获得清晰像的景深Δfμm； 6向前移动微柱，确定微柱前侧面模糊与清晰的分界位置，将此位置作为景深边界点； 7将微柱从景深边界点向后移动Δf2+R-r距离，完成压头与微柱同轴对准，其中R为压头半径μm。
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