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龙图腾网获悉鲁米星高科技(南通)有限公司申请的专利一种低膨胀微晶玻璃及其制备方法及应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119859023B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510171393.0，技术领域涉及：C03C10/16；该发明授权一种低膨胀微晶玻璃及其制备方法及应用是由陈玉栋;李开月;张芬香;张嫚设计研发完成，并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种低膨胀微晶玻璃及其制备方法及应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种低膨胀微晶玻璃及其制备方法及应用，该低膨胀微晶玻璃包括以下重量百分含量的组分：56‑67％SiO2，18‑27％Al2O3，3.1‑7.0％Li2O，0.1‑0.5％MgO，0.1‑0.9％ZnO，1.0‑2.9％P2O5，1.0‑2.9％TiO2，1.0‑2.9％ZrO2，0.5‑4％Gd2O3，0.6‑1.5％SnO2，0.1‑0.4％CaF2。本发明所制备的低膨胀微晶玻璃具有低热膨胀系数、良好的可见光透过率等优异的性能，该方法制备的低膨胀微晶玻璃可应用在极紫外光刻领域。

本发明授权一种低膨胀微晶玻璃及其制备方法及应用在权利要求书中公布了：1.一种低膨胀微晶玻璃的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1原料准备：按照化学组成和原料要求称取各原料，将称取的原料加入总重5％的纯净水混合均匀，得到混合原料； 2熔制成型：将混合原料放入玻璃熔化窑炉中，在1600℃的高温下熔炼8小时，使原料充分熔化并混合均匀，形成均匀的玻璃液；所述玻璃熔制过程中，采用搅拌装置对玻璃液进行搅拌，搅拌速度为30转分钟，使玻璃液中的气泡和杂质充分排出； 3澄清均化：将搅拌均匀后的玻璃液流经铂金通道进行澄清和均化，得到澄清的玻璃液； 4坯体成型：将澄清后的玻璃液浇铸在预热好的耐热钢模具中成型，制成所需形状的玻璃坯体； 5退火处理：将玻璃坯体放入退火炉中，以2℃分钟的速率升温至580℃，保温3小时，然后以1.0℃小时的速率降温至300℃以下，取出冷却至室温； 6核化和晶化：然后将玻璃坯体放置在高精密退火炉中，以2℃小时的升温速率将样品从室温加热至670℃，保温4小时进行核化，然后继续升温至780℃保温4小时进行晶化，所述核化和晶化过程是在还原气氛中进行，待晶化处理后以0.3℃min的降温速率降至室温，经加工处理即得到低膨胀微晶玻璃； 所述还原气氛采用在样品旁边放置样品重量3-5％的碳粉的方式获得； 所述低膨胀微晶玻璃受控晶化后，晶粒尺寸在30-60nm，5mm厚的低膨胀微晶玻璃的透过率大于85％； 所述低膨胀微晶玻璃，由下列氧化物按照质量百分比制备而成：

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