大连理工大学张振宇获国家专利权
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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种微纳气泡辅助石墨碳化硅坩埚磨抛加工装备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120206315B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510339104.3，技术领域涉及：B24B1/04；该发明授权一种微纳气泡辅助石墨碳化硅坩埚磨抛加工装备及方法是由张振宇;罗准;赵枫;周红秀设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微纳气泡辅助石墨碳化硅坩埚磨抛加工装备及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种微纳气泡辅助石墨碳化硅坩埚磨抛加工装备及方法，包括：床身；主轴系统，包括主轴和安装在主轴上的磨抛工具，所述主轴通过导轨设置在床身上并能够相对于床身直线位移，以驱动所述磨抛工具对转台上的坩埚进行打磨；抛光液循环系统，所述抛光液循环系统用于向转台上的坩埚内通入抛光液；微纳气泡发生装置，用于向所述转台上的坩埚内的抛光液中通入微纳气泡；微波发生装置，用于向所述转台上的坩埚发射微波；声表面波发生器，用于向所述转台上的坩埚发射声表面波；转台，设置在所述床身上，所述转台能够带动坩埚转动。解决了现有机械打磨方法所制备的石墨碳化硅坩埚，无法满足当前对石墨碳化硅坩埚性能的极高要求的问题。
本发明授权一种微纳气泡辅助石墨碳化硅坩埚磨抛加工装备及方法在权利要求书中公布了：1.一种微纳气泡辅助石墨碳化硅坩埚磨抛加工装备，其特征在于，包括：床身1； 主轴系统2，包括主轴21和安装在主轴21上的磨抛工具22，所述主轴21通过导轨设置在床身1上并能够相对于床身1直线位移，以驱动所述磨抛工具22对转台6上的坩埚进行打磨； 抛光液循环系统3，所述抛光液循环系统3用于向转台6上的坩埚内通入抛光液； 微纳气泡发生装置4，用于向所述转台6上的坩埚内的抛光液中通入微纳气泡； 微波发生装置5，用于向所述转台6上的坩埚发射微波； 声表面波发生器10，用于向所述转台6上的坩埚发射声表面波； 转台6，设置在所述床身1上，所述转台6能够带动坩埚转动； 所述微波发生装置5发射的微波加速石墨碳化硅坩埚表面氧化层的生成，所述声表面波发生器10发射的声表面波促进位错滑移，促使氧化层发生疲劳断裂，所述微纳气泡发生装置4通入抛光液中的微纳气泡在所述微波发生装置5发射的微波的电磁场作用下溃灭，产生的冲击用于剥离氧化层。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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