嘉兴微物科学仪器有限公司孙琳获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴微物科学仪器有限公司申请的专利基于离轴抛物面反射镜的双向耦合光学近场对准系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120213817B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510546828.5,技术领域涉及:G01N21/01;该发明授权基于离轴抛物面反射镜的双向耦合光学近场对准系统是由孙琳;王文杰设计研发完成,并于2025-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于离轴抛物面反射镜的双向耦合光学近场对准系统在说明书摘要公布了:本发明公开了基于离轴抛物面反射镜的双向耦合光学近场对准系统,包括正向光路、反向光路和耦合反射镜对;所述正向光路包括光源模块、干涉仪模块、OAP及调整机构模块、探针及样品台模块;所述反向光路在所述正向光路的基础上,将样品切换为点光源,点光源反向发射激光,激光经由OAP反射后,经由新加入的剪切干涉仪分成两路。本发明公开的基于离轴抛物面反射镜的双向耦合光学近场对准系统,采用基于标准OAP的双向耦合光学近场对准方法,可以降低近场耦合对准难度、提升近场耦合效率,还可以依据定量、可视化判据实现自动化近场耦合对准,在规模化及工业化等应用中具有广泛的商业前景。
本发明授权基于离轴抛物面反射镜的双向耦合光学近场对准系统在权利要求书中公布了:1.一种基于离轴抛物面反射镜的双向耦合光学近场对准系统,其特征在于,包括正向光路、反向光路和耦合反射镜对,其中: 所述正向光路包括光源模块、干涉仪模块、OAP及调整机构模块、探针及样品台模块,其中: 所述光源模块包括入射激光、第二引导激光和第二分束镜,所述入射激光和所述第二引导激光均射向所述第二分束镜; 所述干涉仪模块包括第一分束镜、探测器,以及由反射镜和一维位移台构成的参考路反射镜; 所述OAP及调整机构模块包括OAP和三维位移台,所述OAP固定于所述三维位移台; 所述探针及样品台模块包括探针、样品台和样品,所述样品固定于样品台的上方并且所述探针置于所述样品的上方; 所述反向光路在所述正向光路的基础上,将样品切换为点光源,点光源反向发射激光,激光经由OAP反射后,经由新加入的剪切干涉仪分成两路,一路用于干涉成像,以及用于判断反向发射激光的准直或平行度,另一路经由第一分束镜进行反向传播; 所述耦合反射镜对包括第一耦合反射镜和第二耦合反射镜,所述第一耦合反射镜和所述第二耦合反射镜位于反向光路的剪切干涉仪与所述OAP之间,用于调整反向光路中的光轴方向,进而实现双向光路中的两个光轴对准。
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