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龙图腾网获悉西湖仪器(杭州)技术有限公司申请的专利一种SiC晶锭的激光加工装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120095315B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510549511.7，技术领域涉及：B23K26/064；该发明授权一种SiC晶锭的激光加工装置是由朱佳凯;刘峰江;刘东立;俞小英设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种SiC晶锭的激光加工装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种SiC晶锭的激光加工装置，其包括工件载台、聚焦物镜、移动单元、拉曼信息获取单元、聚焦高度采集单元、激光加工单元、以及控制单元，工件载台和聚焦物镜分别设置于移动单元的移动端，聚焦物镜的移动路径经过拉曼信息获取单元、聚焦高度采集单元和激光加工单元的投射光路，移动单元、拉曼信息获取单元、聚焦高度采集单元和激光加工单元分别与控制单元建立通讯连接，以完成经过聚焦物镜的投射光线分别在工件载台上的工件表面层和改质层的聚焦。本发明基于拉曼检测实现无损精准的小面区域测量，进而辅助调控后续的激光加工过程，具有装置结构紧凑、生产效率和质量高、提高加工一致性、降低改质层材料损耗的优点。

本发明授权一种SiC晶锭的激光加工装置在权利要求书中公布了：1.一种SiC晶锭的激光加工装置，其特征在于：包括工件载台1、聚焦物镜2、移动单元3、拉曼信息获取单元4、聚焦高度采集单元5、激光加工单元6、以及控制单元7，所述工件载台1和聚焦物镜2分别设置于所述移动单元3的移动端，所述聚焦物镜2的移动路径经过所述拉曼信息获取单元4、聚焦高度采集单元5和激光加工单元6的投射光路，所述移动单元3、拉曼信息获取单元4、聚焦高度采集单元5和激光加工单元6分别与所述控制单元7建立通讯连接，以完成经过所述聚焦物镜2的投射光线分别在所述工件载台1上的工件表面层和改质层的聚焦； 所述移动单元3包括XY轴驱动器32、XY轴直线模组31、Z轴驱动器34和Z轴直线模组33，所述控制单元7、XY轴驱动器32和XY轴直线模组31依次建立通讯连接，所述工件载台1设置于所述XY轴直线模组31的移动端，所述控制单元7、Z轴驱动器34和Z轴直线模组33依次建立通讯连接，所述聚焦物镜2设置于所述Z轴直线模组33的移动端； 所述拉曼信息获取单元4包括第一激光发生模块41、拉曼检测模块42、以及检测光路模块，所述第一激光发生模块41的出光端朝向所述检测光路模块的进光端，所述拉曼检测模块42的检测端朝向所述检测光路模块的出光端，所述检测光路模块的投射光路经过所述聚焦物镜2； 所述拉曼信息获取单元4还包括图像采集模块43，所述图像采集模块43的检测端朝向所述检测光路模块的出光端； 所述控制单元7包括数据处理模块71、以及控制模块72，所述数据处理模块71和控制模块72之间通讯连接； 所述XY轴驱动器32、第一激光发生模块41、拉曼检测模块42和图像采集模块43分别与所述控制模块72建立通讯连接，所述数据处理模块71关联聚焦点的拉曼特征峰频率、图像信息、以及对应的XY坐标位置，以完成工件表面层的掺杂浓度分布图、以及工件改质层的功率分布图的依次构建；其中，所述数据处理模块71基于掺杂浓度分布图、以及预设的掺杂浓度n和激光加工功率P之间的n-P曲线模型，确定工件表面层上不同聚焦点的激光加工功率Pij，并将这些激光加工功率Pij、检测图像、以及对应的XY坐标位置相关联，构建工件改质层的功率分布图（Xi，Yj，Pij）； 所述Z轴驱动器34和寻焦模块51分别与所述控制模块72之间建立通讯连接，所述数据处理模块71关联聚焦物镜2的Z轴坐标位置、以及对应的聚焦点XY坐标位置，以完成工件表面层的形貌分布图的构建； 所述XY轴驱动器32、Z轴驱动器34、第二激光发生模块61和激光功率监测模块62分别与所述控制模块72之间建立通讯连接，以使所述工件载台1上的工件和聚焦点近似地在XY方向上相对移动、并在工件上形成改质层；其中，所述控制模块72向XY轴驱动器32、Z轴驱动器34、第二激光发生模块61发起加工指令（Xi，Yj，nij，Pij），控制聚焦点坐标位置、进给速度、进给方向和激光加工功率，工件载台1按照预定的激光加工扫描路径移动到位，聚焦物镜2按照预定的焦域位移移动到位，以使经过聚焦物镜2的第二激光束聚焦于工件的预定深度d而进行内部改质，以完成聚焦点近似地沿XY投射平面移动、并对工件改质层的不同区域进行激光改质。

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