中国科学院理化技术研究所李嫕获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院理化技术研究所申请的专利基于四核的有机锡配合物及其在光刻中的应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120058784B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510549581.2,技术领域涉及:C07F7/22;该发明授权基于四核的有机锡配合物及其在光刻中的应用是由李嫕;李昊;陈金平;曾毅;于天君设计研发完成,并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于四核的有机锡配合物及其在光刻中的应用在说明书摘要公布了:本发明涉及一类式(I)所示基于四核的有机锡配合物及其在光刻中的应用。所述式(I)所示的化合物既可以作为单组分光刻胶使用,还可以作为添加剂加入到现有的单组分有机锡配合物光刻胶中。其作为单组分光刻胶使用时,具有高的灵敏度和高的分辨率。而作为添加剂使用时,可以促进单组分有机锡配合物光刻胶图案的生成,显著提高该单组分有机锡配合物光刻胶的灵敏度。
本发明授权基于四核的有机锡配合物及其在光刻中的应用在权利要求书中公布了:1.式I所示的化合物: 其中:每个Rs相同或不同,各自独立地选自C1-6烷基、C2-6烯基、苯基或苄基; 每个R1相同或不同,各自独立地选自氯代C1-6烷基、-CO-C6-14芳基OH-NC1-6烷基2、-CO-5-14元杂芳基OH-NC1-6烷基2、-CO-C6-14芳基OH-NHC1-6烷基、-CO-5-14元杂芳基OH-NHC1-6烷基; R2选自H、C1-6烷基、C1-6烷氧基; m选自1或2; n选自3或4。
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