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龙图腾网获悉深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司;湖北云在上半导体有限公司申请的专利用于刻蚀加工的陶瓷静电吸盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120127048B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510595462.0，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权用于刻蚀加工的陶瓷静电吸盘是由张桂华;刘畅;胡炳煌;王天意设计研发完成，并于2025-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于刻蚀加工的陶瓷静电吸盘在说明书摘要公布了：本申请公开了用于刻蚀加工的陶瓷静电吸盘，所述用于刻蚀加工的陶瓷静电吸盘包括：陶瓷静电吸盘本体，所述陶瓷静电吸盘本体的基板内部设置有双涡形管路组件、冷水循环系统；为了解决现有技术中普通的循环水冷系统针对静电吸盘进行冷却时，冷却不均匀的问题，本申请通过双涡形管路组件的双涡形结构，一个涡形管道冷却水由外围向中心流动，另一个涡形管道冷却水由中心向外围流动，通过双涡形管道对流设置，保证静电吸盘冷却更加均匀，避免了单一流道中冷却水逐渐升温导致的冷却不均匀问题，进一步的解决了普通循环水冷结构在长时间工作后，由于冷却水温度变化导致对静电吸盘降温变化的问题。

本发明授权用于刻蚀加工的陶瓷静电吸盘在权利要求书中公布了：1.用于刻蚀加工的陶瓷静电吸盘，其特征在于：所述用于刻蚀加工的陶瓷静电吸盘包括： 陶瓷静电吸盘本体（1），所述陶瓷静电吸盘本体（1）的基板内部设置有双涡形管路组件（2）； 冷水循环系统，所述冷水循环系统与双涡形管路组件（2）之间连接，所述冷水循环系统用于陶瓷静电吸盘本体（1）进行降温冷却； 所述冷水循环系统包括管道结构（3）、过滤单元（4）、冷却单元（5）和恒温控制单元（6），所述过滤单元（4）用于对循环水进行过滤处理； 所述冷却单元（5）用于对循环水进行降温； 所述恒温控制单元（6）用于对降温后的循环水重新升温至恒定温度； 所述双涡形管路组件（2）包括涡形管A（201）、涡形管B（202）、导热板（207）和混流部件（208），所述涡形管A（201）和涡形管B（202）均固定设置在陶瓷静电吸盘本体（1）的基板内部，所述涡形管A（201）的一端设置有进口A（203），所述涡形管A（201）的另一端设置有出口A（204），所述涡形管B（202）的一端设置有进口B（206），所述涡形管B（202）的另一端设置有出口B（205）； 所述涡形管A（201）和涡形管B（202）处固定连接有导热板（207），所述导热板（207）设置有若干个，若干个所述导热板（207）呈放射形设置； 所述涡形管A（201）和涡形管B（202）之间固定设置有若干混流部件（208），所述混流部件（208）包括圆形固定壳（2081）、中轴（2082）、外套辊（2083）和弧形叶片（2084），所述圆形固定壳（2081）与涡形管A（201）和涡形管B（202）之间固定且相互连通，所述圆形固定壳（2081）的内腔中心位置处固定连接有中轴（2082），所述中轴（2082）上转动连接有外套辊（2083），所述外套辊（2083）的弧形壁处固定连接有弧形叶片（2084），所述弧形叶片（2084）设置有若干个，若干个所述弧形叶片（2084）等距固定在外套辊（2083）的弧形壁处。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司;湖北云在上半导体有限公司，其通讯地址为：518106 广东省深圳市光明区马田街道新庄社区大围平塘A5栋202；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。