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龙图腾网获悉浙江斯凯沃微电子有限公司申请的专利一种金刚石抛光研磨在线检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120195178B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510662744.8，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权一种金刚石抛光研磨在线检测系统是由何波;杨阳;凌观爽设计研发完成，并于2025-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种金刚石抛光研磨在线检测系统在说明书摘要公布了：本发明涉及固体分析领域，具体为一种金刚石抛光研磨在线检测系统，包括：首先，同步获取待检测金刚石表面的光学传感数据及热学传感数据；随后，对采集的传感数据进行处理，以检测并识别其表面的多种物理特性，包括表面缺陷状态、热致异常分布和可自校准的表面粗糙度，并追踪相关特性的演化趋势，从而生成初步的多维度特性分析结果；最终，综合各项分析结果，生成全面的金刚石缺陷表面物理特性在线评估报告。本发明主要解决了传统检测手段难以实时和准确地全面评估其表面多维度物理特性，以及快速响应表面状态变化的问题，旨在通过自动化在线分析，全面评估金刚石表面质量，为保障最终产品品质和优化研磨工艺提供依据。

本发明授权一种金刚石抛光研磨在线检测系统在权利要求书中公布了：1.一种金刚石抛光研磨在线检测系统，其特征在于，包括： 缺陷数据采集单元，用于同步获取金刚石表面的光学传感数据和热传感数据，并进行预处理输出包含表面物理特性信息的光学特征化数据； 缺陷特性分析单元，用于基于光学特征化数据，通过融合数据驱动模型与视觉检测模型检测金刚石表面的缺陷，输出表面缺陷信息，并结合热传感数据检测热致异常，输出热致异常信息；基于光学特征化数据计算金刚石表面的表面粗糙度，并通过与外部基准数据进行比对，表面粗糙度计算的自校准，输出表面粗糙度信息，输出表面粗糙度信息的过程包括：基于光学特征化数据，应用快速傅里叶变换处理，分析低频近似分量与高频细节分量的频谱能量分布；并依据频谱能量分布与表面粗糙度之间的预定估算模型，估算表面粗糙度以及量化纹理特征参数，得到初步的表面粗糙度信息；通过校准数据接口，定期接收针对同一样品区域的基准表面粗糙度参考值；并应用自适应校准算法，用于通过比对表面粗糙度与基准表面粗糙度参考值，计算得到偏差量；基于偏差量，调整预定估算模型的内部参数，并重新进行表面粗糙度的计算，输出校准后的表面粗糙度信息；以及将表面缺陷信息与历史缺陷数据库进行比对，输出缺陷演化趋势信息；输出所述缺陷演化趋势信息的过程包括：综合考虑缺陷空间位置的邻近度、潜在运动轨迹预测以及对应的加工阶段时间戳时空属性，同时匹配缺陷的类型、尺寸、形状因子多维特征，以识别是否属于历史数据库中同一缺陷的演化体，进而建立追踪关系并获得关联缺陷编号； 缺陷信息综合单元，用于基于表面缺陷信息、热致异常信息、表面粗糙度信息及缺陷演化趋势信息，利用规则引擎进行反馈决策，生成缺陷表面物理特性报告，并通过工业通信接口输出至控制器。

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