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龙图腾网获悉浙江奥首材料科技有限公司申请的专利金属化合物、抗反射金属硬掩模组合物及制备方法与应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120209011B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510694048.5，技术领域涉及：C07F7/00；该发明授权金属化合物、抗反射金属硬掩模组合物及制备方法与应用是由侯军;吕晶;褚雨露;林一凡设计研发完成，并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本金属化合物、抗反射金属硬掩模组合物及制备方法与应用在说明书摘要公布了：本发明提供一种金属化合物、抗反射金属硬掩模组合物及制备方法与应用，所述金属化合物以含有C＝C双键的C2～C12亚烷基或支链亚烷基为发色团。所述抗反射金属硬掩模组合物包括重量配比如下的各组分：所述金属化合物5‑40份；硅氧烷化合物0.1‑1份；有机溶剂60‑95份。本发明金属化合物含有丰富的发色基团，含有所述金属化合物的抗反射金属硬掩模组合物具有优异的光学性能和高效的蚀刻选择性，在半导体芯片制造中的图形化领域具有良好的应用前景和大规模推广潜力。

本发明授权金属化合物、抗反射金属硬掩模组合物及制备方法与应用在权利要求书中公布了：1.一种金属化合物，其特征在于，结构式如式（1）所示： ； 在式（1）中，M为金属，n为1至20的自然数； L1和L2为有机配体； 所述有机配体含式（2）虚线中的结构： ； 在式（2）中，R1和R2分别独立选自卤素、C1～C20的烷基或C1～C20的烷氧基，R3为含有C＝C双键的C2～C12亚烷基或支链亚烷基； 所述金属化合物的制备方法包括以下步骤： 步骤1：有机配体的合成：将乙酰丙酮衍生物和环己烷衍生物溶解在溶剂中，加热至50-100℃，在催化剂的催化下发生缩合反应，反应1-10小时，得到的缩合产物即为有机配体； 步骤2：金属化合物的合成： 步骤2.1：将金属醇盐溶解在有机溶剂中，得到金属醇盐溶液；将有机配体溶解在有机溶剂中，得到有机配体溶液；将金属醇盐溶液在N2气氛下加入反应容器中，在搅拌的同时加热至30-50℃，然后将有机配体溶液滴加至金属醇盐溶液中，继续加热至60-80℃，反应1-5小时，然后冷却至室温，得到混合溶液； 步骤2.2：向混合溶液中滴加去离子水，在30-80℃反应1-5小时，然后冷却至室温，减压浓缩，过滤，得到金属化合物； 所述乙酰丙酮衍生物的结构如式（3）所示： ； 式（3）中，R1和R2分别独立选自卤素、C1～C20的烷基或C1～C20的烷氧基； 和或，所述环己烷衍生物的结构如式（4）所示： ； 式（4）中，R4为C0～C9亚烷基或C2～C11支链亚烷基； 和或，所述催化剂为哌啶和或醋酸铵； 和或，所述金属醇盐为乙醇钛、异丙醇钛、正丁醇钛、异丙醇锆、正丁醇锆和正丁醇铪中的一种或多种。

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