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龙图腾网获悉中山大学申请的专利结合虚实探针的超高时空分辨率纳米结构测量系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120274682B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510749558.8，技术领域涉及：G01B11/30；该发明授权结合虚实探针的超高时空分辨率纳米结构测量系统及方法是由梁浩文;廖乔林设计研发完成，并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本结合虚实探针的超高时空分辨率纳米结构测量系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种结合虚实探针的超高时空分辨率纳米结构测量系统及方法，该系统包括：信号产生模块，用于生成脉冲信号；矢量光场产生模块，用于基于脉冲信号输出径向偏振光和或角向偏振光；正置物镜，用于将径向偏振光和或角向偏振光聚焦至样品上的待测像素点；实体探针，用于当矢量光场产生模块仅输出径向偏振光，在待测像素点的近场位置上生成散射光信号；探测模块，用于探测待测像素点产生的光信号，并基于光信号确定待测像素点的探测结果；处理器，用于基于样品的待测区域中若干个待测像素点的探测结果，确定待测区域的纳米结构测量结果。本发明实施例能够提高对纳米结构进行测量的时空分辨率，可广泛应用于纳米结构测量领域。

本发明授权结合虚实探针的超高时空分辨率纳米结构测量系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种结合虚实探针的超高时空分辨率纳米结构测量系统，其特征在于，包括： 信号产生模块，用于生成脉冲信号；所述脉冲信号包括相对延迟时间可调的泵浦脉冲和探测脉冲； 虚拟探针，由矢量光场产生模块以及正置物镜构成；所述矢量光场产生模块用于基于所述脉冲信号输出径向偏振光和或角向偏振光；所述正置物镜用于将所述径向偏振光和或角向偏振光聚焦至样品上的待测像素点；所述矢量光场产生模块包括：线偏振片，用于改变所述脉冲信号的偏振状态，得到线偏振光；涡旋半波片，用于将所述线偏振光转换为径向偏振光和或角向偏振光；当所述矢量光场产生模块输出径向偏振光和角向偏振光，所述矢量光场产生模块还包括：环形光阑，用于对所述径向偏振光和所述角向偏振光进行调制，以使调制后的径向偏振光经过所述正置物镜聚焦后产生第一预设尺寸的聚焦焦斑，以及调制后的角向偏振光经过所述正置物镜聚焦后产生第二预设尺寸的空心孔聚焦焦斑； 实体探针，用于当所述矢量光场产生模块仅输出径向偏振光，在所述待测像素点的近场位置上生成散射光信号； 载物台，用于装载以及移动所述样品至预设位置； 倒置物镜，用于将所述待测像素点生成的光信号中的透射部分聚焦至探测模块； 分束镜，用于将所述待测像素点生成的光信号中的反射部分进入探测模块； 探测模块，用于探测所述待测像素点产生的光信号，并基于所述光信号确定所述待测像素点的探测结果；所述探测结果包括反射结果和或透射结果； 处理器，用于基于所述样品的待测区域中若干个待测像素点的探测结果，确定所述待测区域的纳米结构测量结果。

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