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龙图腾网获悉成都中科唯实仪器有限责任公司申请的专利一种真空插板阀获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120312868B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510821085.8，技术领域涉及：F16K27/04；该发明授权一种真空插板阀是由郭宇潇;魏琼林;冉从军;郑文才设计研发完成，并于2025-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空插板阀在说明书摘要公布了：本发明公开了一种真空插板阀，包括壳体、传动组件、阀芯组件和气缸组件。壳体由上壳体和下壳体组成，内部设有导向轨道，阀芯组件沿导向轨道直线运动。阀芯组件包括具有双层轮廓的金属支承件及其硫化成型的密封材料，配合壳体密封法兰上的两层密封面，通过软对硬的接触方式实现密封。气缸组件包括缸筒、前缸盖、后缸盖和活塞，前后缸盖上分别设有凸出的密封件，用于缓冲活塞运动；缸筒上设有缓冲孔与缓冲螺钉，调节活塞速度，实现双重缓冲。传动组件可在关阀状态下实现自锁。该真空插板阀具有低振动、结构紧凑、适应颗粒环境和高压差下可靠启闭等优点，适用于半导体设备中的真空密封控制系统。

本发明授权一种真空插板阀在权利要求书中公布了：1.一种真空插板阀，其特征在于：包括壳体（1）、传动组件（2）、阀芯组件（3）和气缸组件（4），所述壳体（1）由上壳体（11）和下壳体组成，内部设有导向轨道；所述阀芯组件（3）设于所述导向轨道上，并可沿导向轨道作直线运动，所述阀芯组件（3）包括金属支承件和密封材料，所述金属支承件具有两层轮廓，所述密封材料沿金属支承件的两层轮廓硫化成型；所述壳体（1）设有密封法兰（12），所述密封法兰（12）嵌入壳体（1）上预留的阀孔内容，密封法兰（12）内侧设有对应的两层密封面，所述阀芯组件（3）的密封材料与密封法兰（12）在密封面上通过软对硬接触实现密封；所述气缸组件（4）包括缸筒（42）、前缸盖（41）、后缸盖（43）和活塞（44），前缸盖（41）和后缸盖（43）分别设有前端密封件（411）和后端密封件（431），所述密封件从缸盖端面凸出，并在活塞（44）移动至端部时提供减振缓冲；所述缸筒（42）上设有缓冲孔（421），且所述缓冲孔（421）处设置有缓冲螺钉（45），用于调节所述活塞（44）的移动速度，从而实现双重缓冲；所述缸筒（42）上设有对称分布的气嘴安装孔（423），每个气嘴安装孔（423）通过连接通道（422）与缓冲孔（421）相连，所述缓冲孔（421）与气嘴安装孔（423）分别连通缸筒（42）内部，且缓冲孔（421）设置在缸筒与前缸盖（41）及后缸盖（43）的连接处；所述活塞（44）上设有密封圈一（441）和密封圈二（442），两者之间的间距为L2，所述气嘴安装孔（423）与缓冲孔（421）之间的间距为L1，且L1＜L2，从而实现活塞（44）运动末端阶段的缓速控制。

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