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龙图腾网获悉上海大学申请的专利一种超宽带合成光源的面阵谱域干涉半导体多层膜测量装置及其实现方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120351867B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510845630.7，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种超宽带合成光源的面阵谱域干涉半导体多层膜测量装置及其实现方法是由陈朋;周永昊;于瀛洁;林星羽;莫佳鑫;彭乐源设计研发完成，并于2025-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种超宽带合成光源的面阵谱域干涉半导体多层膜测量装置及其实现方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种超宽带合成光源的面阵谱域干涉半导体多层膜测量装置与实现方法，属于精密光学测量技术领域。本发明用于面阵谱域干涉检测装置包括超宽带合成光源、干涉系统、面阵光谱仪、半导体多层膜被测件等。所提出的测量方法以具有良好干涉性的超宽带合成光源，激发多层膜分层轮廓和跨尺度厚度分布全场信息，由干涉系统形成载波多参数的干涉信号，并由面阵光谱仪记录干涉信息，最后通过阵列频谱分析，同步获得多层膜分层轮廓及厚度分布信息。

本发明授权一种超宽带合成光源的面阵谱域干涉半导体多层膜测量装置及其实现方法在权利要求书中公布了：1.一种超宽带合成光源的面阵谱域干涉半导体多层膜测量装置，其特征在于，包括超宽带合成光源、干涉系统、面阵光谱仪、半导体多层膜被测件和计算机处理单元；所述超宽带合成光源是由多个可调谐激光器通过非线性光纤耦合生成的连续光谱；所述的干涉系统包括空间滤波器、准直透镜、分光镜、参考镜、物镜和成像透镜；所述超宽带合成光源的面阵谱域干涉半导体多层膜测量装置的实现方法，包括以下步骤： 步骤S1：系统标定：包括腔长标定和参考镜误差标定； 步骤S2：聚焦定位：确保干涉物镜与被测件表面处于最佳成像平面，最大化干涉条纹对比度； 步骤S3：面阵光谱数据采集：超宽带合成光源激发多层膜反射信号，面阵光谱仪单次曝光获取干涉信号Ix，y，λ，其中，x，y表示样品的空间坐标，λ表示波长； 步骤S4：数据重组：从获得的面阵光谱仪采集的谱域干涉信号Ix，y，λ提取信号数据Ixi，yj，λk，其中，i＝1、2…n，j＝1、2…p，n、p分别是面阵光谱仪横纵方向的像素点；k＝1、2…N，λ1...λN为波长调谐的范围，提取光强信号数据Ixi，yj，λk进行重组；重组后的信号数据形成阵列Ix，y，λk，其中λk表示第k个波长通道，由重组后的信号数据建立相位差对光强I的定量模型，表示第k个波长通道样品的空间坐标x,y位置的阵列数据； 步骤S5：信息分离：对采样权重函数进行设计，使用加权多步算法对被测件的多表面信息进行分离； 步骤S6：分层厚度预估：基于光程差初步估算各层厚度，开展阈值检测，从而定位反射峰位置ΔLk，进行初始厚度计算：其中，Δlk为第k层光程差峰值位置，为材料参考折射率； 步骤S7：厚度与三维轮廓计算：根据光强阵列数据，基于所述步骤S6的初始厚度作为迭代优化的起点，进行厚度计算，基于所述步骤S6的初始厚度提供每一层厚度的空间分布，进行三维轮廓重构，输出厚度分布dkx，y和三维轮廓hkx，y； 步骤S8：层间耦合补偿与优化：基于所述步骤S7的输出的厚度dkx，y和折射率nkλ构建传输矩阵T，计算理论干涉信号Imodelλ，基于所述的理论干涉信号Imodelλ和实测干涉数据Imeasλ修正层间多次反射引起的耦合误差，提升反演精度，包括传输矩阵反演和遗传算法优化。

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