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龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利粗糙表面生成方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120412857B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510905694.1，技术领域涉及：G16C60/00；该发明授权粗糙表面生成方法及设备是由汪岳鹏;蒋继乐;寇明虎设计研发完成，并于2025-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本粗糙表面生成方法及设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种粗糙表面生成方法及设备。应用于材料表面科学领域。该方法包括：获取被测样品的若干采样点的高度数据；并进行频域分析和统计学分析，得到第一高度频域数据和第一高度分布参数；根据采样分辨率随机生成随机布朗分形表面；根据随机布朗分形表面、第一高度分布参数生成布朗分形表面；对布朗分形表面进行频域分析，得到第二高度频域数据；调节随机布朗分形表面的自相似性参数，得到第三高度频域数据；根据第一高度频域数据对第三高度频域数据进行校正，得到第四高度频域数据；对第四高度频域数据进行傅里叶逆变换，生成满足被测样品的统计学规律的粗糙表面。本发明通过两次修正，高效率和高精度获取与被测样品高度相符的模拟粗糙表面。

本发明授权粗糙表面生成方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种粗糙表面生成方法，其特征在于，包括： 获取被测样品的若干采样点的高度数据； 对所述若干采样点的高度数据分别进行频域分析和统计学分析，得到第一高度频域数据和第一高度分布参数；以及根据所述若干采样点的采样分辨率随机生成随机布朗分形表面； 根据所述随机布朗分形表面中若干点的高度数据、所述第一高度分布参数生成布朗分形表面，其中布朗分形表面的高度分布参数与所述第一高度分布参数相等； 对所述布朗分形表面进行频域分析，得到第二高度频域数据； 以调节所述随机布朗分形表面的自相似性参数的方式，再次执行所述根据所述若干采样点的采样分辨率随机生成随机布朗分形表面的步骤，直至所述第二高度频域数据与所述第一高度频域数据的高频区域重合； 根据高频区域的重合区域，得到第三高度频域数据； 根据所述第一高度频域数据对所述第三高度频域数据进行校正，得到第四高度频域数据； 对所述第四高度频域数据进行傅里叶逆变换，生成满足被测样品的统计学规律的粗糙表面； 其中，根据所述随机布朗分形表面中若干点的高度数据、所述第一高度分布参数生成布朗分形表面，其中布朗分形表面的高度分布参数与所述第一高度分布参数相等，包括： 根据所述随机布朗分形表面中若干点的高度数据计算第二高度分布参数，所述第二高度分布参数包括第二标准差或第二轮廓算术平均偏差； 根据所述随机布朗分形表面中若干点的高度数据、所述第一高度分布参数、所述第二高度分布参数计算布朗分形表面中若干点的高度数据，其中布朗分形表面的高度分布参数与所述第一高度分布参数相等； 根据布朗分形表面中若干点的高度数据生成布朗分形表面。

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