珠海诚锋电子科技有限公司焦超获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉珠海诚锋电子科技有限公司申请的专利基于掩膜的晶圆缺陷分类系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120431093B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510926277.5，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权基于掩膜的晶圆缺陷分类系统及方法是由焦超;蓝剑飞;张腾设计研发完成，并于2025-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于掩膜的晶圆缺陷分类系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了基于掩膜的晶圆缺陷分类系统及方法，涉及晶圆缺陷分类技术领域，将每个缺陷区域的像素赋予对应的类别序号后形成标签图像，通过添加1x1卷积层将四通道输入图像转换为三通道特征图，将标签图像与三通道特征图输入图像语义分割模型进行训练，当有缺陷的晶圆图像输入训练完成的图像语义分割模型后，图像语义分割模型进行推理，并输出晶圆的缺陷定位与分类结果，根据缺陷定位与分类结果，对晶圆进行缺陷评估并生成缺陷报告。该分类系统将晶圆图像与缺陷掩膜在通道方向拼接，所有缺陷区域通过一次分割推理就可以全部实现分类，不仅优化了图像分割精度，还提高了处理效率，显著提升了晶圆缺陷分类系统的性能和适用性。
本发明授权基于掩膜的晶圆缺陷分类系统及方法在权利要求书中公布了：1.基于掩膜的晶圆缺陷分类方法，其特征在于：所述分类方法包括以下步骤： 分类系统将包含缺陷的晶圆图像与其对应的缺陷掩膜在通道方向拼接，形成四通道输入图像； 对缺陷掩膜中的每个缺陷区域进行类别标注，将每个缺陷区域的像素赋予对应的类别序号后形成标签图像； 通过添加1x1卷积层将四通道输入图像转换为三通道特征图； 将标签图像与三通道特征图输入图像语义分割模型进行训练； 当有缺陷的晶圆图像输入训练完成的图像语义分割模型后，图像语义分割模型进行推理，并输出晶圆的缺陷定位与分类结果； 根据缺陷定位与分类结果，对晶圆进行缺陷评估并生成缺陷报告。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人珠海诚锋电子科技有限公司，其通讯地址为：519085 广东省珠海市高新区唐家湾镇科技七路1号4栋6楼02单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号