安徽大学朱明获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽大学申请的专利基于多方向特征增强网络的版图光刻热点检测方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120471922B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510971253.1,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权基于多方向特征增强网络的版图光刻热点检测方法及系统是由朱明;陈佩飞;从今;李志刚;彭春雨;吴秀龙;吴波;杨华光设计研发完成,并于2025-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于多方向特征增强网络的版图光刻热点检测方法及系统在说明书摘要公布了:本发明提供了基于多方向特征增强网络的版图光刻热点检测方法及系统,涉及光刻热点检测技术领域。本发明针对光刻版图的检测任务构建了一种多方向特征增强网络,其包括:特征提取部、特征融合部、分类预测部;其中,特征提取部包括:4个特征提取层;每个特征提取层包括:头部卷积层、多方向特征增强层、通道优先卷积注意力层、残差连接层。本发明能够提高网络的敏感度和鲁棒性,还能够有效降低虚警、提升光刻版图的检测精度,实现复杂版图场景下多类型缺陷的检测精度与泛化性能的平衡。
本发明授权基于多方向特征增强网络的版图光刻热点检测方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于多方向特征增强网络的版图光刻热点检测方法,其特征在于,包括:步骤一,获取待检测的光刻版图P; 步骤二,将P输入训练好的多方向特征增强网络进行处理以得到检测结果Result;其中,多方向特征增强网络包括: 特征提取部,其包括:4个特征提取层;第m个特征提取层的输出作为第m+1个特征提取层的输入;m∈[1,2,3];第1个特征提取层的输入为P;第4个特征提取层的输出为多方向特征X;特征提取层包括:头部卷积层、多方向特征增强层、通道优先卷积注意力层、残差连接层;在任一个特征提取层中:头部卷积层用于对该特征提取层的输入进行3×3的卷积处理,多方向特征增强层用于对头部卷积层的输出进行多方向特征提取及增强,通道优先卷积注意力层用于对多方向特征增强层的输出进行空间和通道注意力计算,残差连接层用于将该特征提取层的输入与通道优先卷积注意力层的输出进行相加以得到该特征提取层的输出;多方向特征增强层包括:4个一类卷积层、3个父乘积层、3个二类卷积层、4个三类卷积层、1个特征捕捉层、3个注意力处理层、1个父叠加层;4个一类卷积层用于从多方向特征增强层的输入Input分别提取出水平高频、垂直高频、对角高频、低频方向的特征; 特征融合部,其用于对X进行多尺度融合以得到多尺度特征Y;以及 分类预测部,其用于对Y进行分类预测以得到Result。
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