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龙图腾网获悉苏州博宏源设备股份有限公司申请的专利一种晶圆抛光机的散热降温结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120461336B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510969010.4，技术领域涉及：B24B55/03；该发明授权一种晶圆抛光机的散热降温结构是由任明元;梁春;刘文平;强彦东设计研发完成，并于2025-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆抛光机的散热降温结构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆抛光机的散热降温结构，包括承接座、抛光盘、抛光垫、抛光头、修整盘、喷液管以及调节机构，其中，所述抛光盘转动设置在所述承接座上，所述抛光盘上设置有抛光垫，所述抛光盘上方转动设置有用于挤压晶圆的抛光头，所述抛光盘上方还设置有用于保持所述抛光垫表面粗糙度的修整盘以及用于喷洒抛光液的喷液管，所述抛光盘中沿周向开设有多个间隔分布的冷却通道一及冷却通道二，所述冷却通道一与冷却通道二均沿所述抛光盘的半径方向开设，所述冷却通道一与冷却通道二上均开设有多个开口，多个所述冷却通道一上的所述开口呈圆周设置，多个所述冷却通道二上的所述开口呈圆周设置，且每个所述开口中均滑动设置有调节机构。

本发明授权一种晶圆抛光机的散热降温结构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆抛光机的散热降温结构，其特征在于：包括承接座1、抛光盘2、抛光垫3、抛光头4、修整盘5、喷液管6及调节机构7，所述抛光盘2转动设置在所述承接座1上，所述抛光盘2上设置有抛光垫3，所述抛光盘2上方转动设置有用于挤压晶圆的抛光头4，所述抛光盘2上方还设置有用于保持所述抛光垫3表面粗糙度的修整盘5及用于喷洒抛光液的喷液管6，所述抛光盘2中沿周向开设有多个间隔分布的冷却通道一21及冷却通道二22，所述冷却通道一21与冷却通道二22均沿所述抛光盘2的半径方向开设，所述冷却通道一21与冷却通道二22上均开设有多个开口23，多个所述冷却通道一21上的所述开口23呈圆周设置，多个所述冷却通道二22上的所述开口23呈圆周设置，且每个所述开口23中均滑动设置有调节机构7； 所述调节机构7包括滑块71、连通板72、微型制冷器73及密封板74，所述滑块71沿所述开口23轴向滑动设置，所述滑块71上固定设置有连通板72，所述连通板72两侧固定设置有微型制冷器73，所述滑块71上固定设置有密封板74，所述开口23内设有密封腔231，所述密封板74沿所述密封腔231密封滑动设置； 所述滑块71上固定设置有间隔板711，所述间隔板711沿所述冷却通道一21及冷却通道二22密封滑动设置，且多个所述间隔板711将所述冷却通道一21及冷却通道二22分隔成多个独立腔段； 所述滑块71上以所述间隔板711为对称面对称开设有两个穿口712，所述连通板72上开设有连通通道721，所述连通通道721将两个所述穿口712连通； 所述抛光盘2上自内向外固定设置有第一进液环24、第二进液环25及出液环26，所述第一进液环24与所述冷却通道一21的输入端连通，所述第二进液环25与冷却通道二22的输入端连通，所述冷却通道一21与冷却通道二22的输出端均与所述出液环26连通； 所述第一进液环24上嵌设有温度传感器一，所述第二进液环25上嵌设有温度传感器二，所述滑块71靠近所述第一进液环24的一端嵌设有温度传感器三，所述承接座1上固定设置有控制器，所述温度传感器一、温度传感器二及温度传感器三均与所述控制器电性连接。

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