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胜科纳米(苏州)股份有限公司朱雷获国家专利权

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龙图腾网获悉胜科纳米(苏州)股份有限公司申请的专利一种芯片截面结构研磨中精确定位的无损方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120480677B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510999351.6,技术领域涉及:B24B1/00;该发明授权一种芯片截面结构研磨中精确定位的无损方法是由朱雷;王岩松;梁伟德;李晓旻设计研发完成,并于2025-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种芯片截面结构研磨中精确定位的无损方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种芯片截面结构研磨中精确定位的无损方法,属于半导体器件分析与制样技术领域,重点在于采用沉积镀膜方式,在待研磨芯片样品的目标研磨位置两侧对称设置凸起标识图标,实现芯片截面结构研磨中精确定位。本发明所述无损方法采用凸起膜层作为凸起标识图标,对目标电子线路全程无损,标识图标只使用一排大小渐变的图标,为研磨的工作人员实时提醒研磨进度,提高研磨效率,又快又准达到机械研磨的目标位置。

本发明授权一种芯片截面结构研磨中精确定位的无损方法在权利要求书中公布了:1.一种芯片截面结构研磨中精确定位的无损方法,其特征在于,所述无损方法包括如下步骤: (1)准备待研磨芯片样品并在其表面确定目标研磨位置; (2)采用沉积镀膜方式,在所述目标研磨位置两侧对称设置凸起标识图标,实现芯片截面结构研磨中精确定位;其中,平行于研磨方向,所述凸起标识图标的底边与所述目标研磨位置保持在同一条直线上;在所述目标研磨位置两侧对称设置至少3组不同尺寸的凸起标识图标;垂直于研磨方向并靠近所述目标研磨位置的方向,所述凸起标识图标的尺寸减小。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人胜科纳米(苏州)股份有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区09栋507室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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