浙江拓感科技有限公司张传杰获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江拓感科技有限公司申请的专利基于图形化蓝宝石衬底的碲镉汞材料液相外延方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120519960B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511031516.7，技术领域涉及：C30B29/48；该发明授权基于图形化蓝宝石衬底的碲镉汞材料液相外延方法是由张传杰;孙维国;胡婉珍设计研发完成，并于2025-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于图形化蓝宝石衬底的碲镉汞材料液相外延方法在说明书摘要公布了：本发明属于红外探测器制造技术领域，具体提供一种基于图形化蓝宝石衬底的碲镉汞材料液相外延方法，包括：提供一面为抛光面而另一面为纳米压印面的蓝宝石衬底，纳米压印面上压印有正六棱锥凸形点阵结构，在正六棱锥凸形点阵结构的表面上采用金属有机化学气相沉积技术生长碲锌镉过渡层，生长结束后进行原位退火，然后放入液相外延系统中，在碲锌镉过渡层上再液相外延碲镉汞材料。蓝宝石衬底强度高，在制备器件的工艺过程中和器件工作受到高低温冲击时不会开裂，本方法可降低外延材料的缺陷密度、提升材料均匀性及实现大面积碲镉汞外延材料制备，以满足第三代红外焦平面阵列对低成本、大面阵探测器的需求。
本发明授权基于图形化蓝宝石衬底的碲镉汞材料液相外延方法在权利要求书中公布了：1.一种基于图形化蓝宝石衬底的碲镉汞材料液相外延方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一面为抛光面而另一面为纳米压印面的蓝宝石衬底，纳米压印面上压印有正六棱锥凸形点阵结构；在正六棱锥凸形点阵结构的表面上采用金属有机化学气相沉积技术生长碲锌镉过渡层，生长结束后进行原位退火，退火后执行下列步骤：首先将设置有三温区的液相外延系统抽真空至10-6Torr后充入纯度≥99.99999%的氮气作为保护气体，将带有碲锌镉过渡层的衬底置于液相外延系统的生长区，达到生长所需的温度后生长碲镉汞外延材料，达到所需的厚度后以5℃min速率降温至100℃±3℃，再以5℃min速率升温至350℃，在350℃温度下原位退火5小时后以5℃min速率降温至室温。
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