苏州晨晖智能设备有限公司彭云祥获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州晨晖智能设备有限公司申请的专利一种极细线径钨丝线切割硅片210R规格的切割方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120516860B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511038493.2,技术领域涉及:B28D5/04;该发明授权一种极细线径钨丝线切割硅片210R规格的切割方法是由彭云祥;许堃;刘建平;胡小辉;罗金平;吴松设计研发完成,并于2025-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种极细线径钨丝线切割硅片210R规格的切割方法在说明书摘要公布了:本发明提出一种极细线径钨丝线切割硅片210R规格的切割方法,采用线径≤24μm的钨丝线往复切割总深度219mm的硅棒,通过动态匹配送线回线周期与线速实现精准控制。初始阶段线速在710mmin‑2000mmin范围内递增且周期递减;稳定阶段线速恒定2100‑2300mmin且周期递增;降速阶段线速在2000mmin‑1200mmin范围内递减且周期固定在1900‑2800m,全程采用1400m大周期送线回线机制。该方法通过三阶段参数优化,有效解决极细钨丝切割薄硅片时的纹路异常、线痕、崩边、加切率及隐裂率超标问题。
本发明授权一种极细线径钨丝线切割硅片210R规格的切割方法在权利要求书中公布了:1.一种极细线径钨丝线切割硅片210R规格的切割方法,其特征在于,工作台通过进给运动使硅棒逐步趋近于钨丝线切割区域,并选用直径不大于24μm的所述钨丝线对硅棒实施往复切割,切割总深度为219mm;切割过程中,所述钨丝线的送线回线周期大于1400m的大周期,所述送线回线周期为从进线端向切割区域输送线材的单次送线量,与从出线端回收线材的单次回线量共同构成的单程循环,其周期长度由单次送线量与单次回线量之和确定;切割过程包括以下阶段: 初始切割阶段:所述工作台的进给位置为-1-50mm,所述钨丝线线速在710-2000mmin范围内逐步递增,同时所述送线回线周期相应递减; 稳定切割阶段:所述工作台的进给位置为50-210mm,所述钨丝线线速稳定在2100-2300mmin范围内,以固定速度运行;所述送线回线周期在1600-1900m的大周期范围内逐步增加,相邻切割阶段的增幅不超过100m; 降速切割阶段:所述工作台的进给位置范围为210-219mm,所述钨丝线的线速在1200-2000mmin范围内逐步降低,所述送线回线周期为1900-2800m的大周期。
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