朗姆研究公司埃万盖洛斯·T·斯皮罗普洛斯获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利用于改善室匹配的混合流量计量获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112543992B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980052686.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于改善室匹配的混合流量计量是由埃万盖洛斯·T·斯皮罗普洛斯;皮施·阿加瓦尔;詹姆斯·雷昂;赛义德·侯赛因·哈希米加尔梅齐;伊克巴尔·谢里夫设计研发完成，并于2019-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于改善室匹配的混合流量计量在说明书摘要公布了：一种衬底处理系统的气体输送系统包含气箱，气箱包含质量流量控制器以控制来自气体源的气流。气流路径与所述气箱流体连通。混合流量计量系统与所述气流路径流体连通，并且包含控制器，所述控制器被设置成：执行第一流量计量，以在由所述质量流量控制器中的至少一者所供应的气体的期望流率小于预定流率时，基于在预定时段期间在所述气箱和流量计量系统之间的所述气流路径中的气体的差动质量来校准所述质量流量控制器中的所述至少一者。所述控制器还被设置成在所述期望流率大于所述预定流率时执行第二流量计量。
本发明授权用于改善室匹配的混合流量计量在权利要求书中公布了：1.一种用于衬底处理系统的气体流量计量系统，包含： N个初级阀，其选择性地使气体分别从N个气体源流动，其中N是整数； N个质量流量控制器，其分别连接至所述N个初级阀，以用于使N种气体分别从所述N个气体源流动； N个二级阀，其选择性地使气体分别从所述N个质量流量控制器流动； 气流路径，其将所述N个二级阀连接至远离所述N个二级阀定位的流量计量系统，其中所述气流路径包含气体管线；以及 控制器，其被设置成通过以下操作对来自所述N个质量流量控制器中的一者的在期望流率下的选定气体执行第一流量计量： 排空所述气流路径； 测量所述气流路径中的初始压强； 确定所述气流路径中的初始质量； 使所述选定气体在预定时段期间以所述期望流率从所述N个质量流量控制器中的所述一者流动； 测量在所述气流路径中的最终压强； 确定在所述气流路径中的最终质量；以及 基于所述初始质量、所述最终质量以及所述预定时段确定实际流率。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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