株式会社新川瀬山耕平获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社新川申请的专利配置装置及配置方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114402424B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080015443.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权配置装置及配置方法是由瀬山耕平设计研发完成，并于2020-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本配置装置及配置方法在说明书摘要公布了：一种配置装置以及配置方法，所述配置装置包括：平台，支撑基板；配置部，保持晶粒，且在由平台支撑的基板上配置多个晶粒；以及控制部，具有基于由曝光装置所形成的多个图案彼此的位置关系而生成的表示多个晶粒的配置位置的地图数据，且基于地图数据，来控制在基板上配置多个晶粒时的平台与配置部的相互的相对位置。
本发明授权配置装置及配置方法在权利要求书中公布了：1.一种配置装置，为了与包括由曝光装置所形成的多个图案的晶片贴合，而以与所述多个图案对应的方式在基板上配置多个晶粒，且所述配置装置包括： 平台，支撑基板； 配置部，保持所述晶粒，且在由所述平台支撑的所述基板上配置所述多个晶粒；以及 控制部，具有基于由所述曝光装置形成的所述多个图案彼此的位置关系而生成的表示所述多个晶粒的配置位置的地图数据，且基于所述地图数据，来控制在所述基板上配置所述多个晶粒时的所述平台与所述配置部的相互的相对位置， 所述曝光装置针对包含所述多个图案的每个曝光区域，在所述晶片上形成所述图案， 所述地图数据包含所述曝光区域间的位置关系，且 所述控制部基于所述曝光区域间的位置关系，将所述多个晶粒配置于所述基板。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社新川，其通讯地址为：日本东京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1(邮递区号：208-8585)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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