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龙图腾网获悉深圳明锐理想科技有限公司申请的专利一种检测方法、装置以及光学检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113903674B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111112842.2，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种检测方法、装置以及光学检测设备是由张超;康豪;张骏;邓柳明设计研发完成，并于2021-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种检测方法、装置以及光学检测设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体检测技术领域，公开了一种检测方法、检测装置以及光学检测设备，检测方法包括：控制光源向待测物品照射光束，光束经过待测物品反射部分穿过分光镜入射至第一图像采集装置，部分经过分光镜反射至第二图像采集装置；获取第一图像采集装置根据入射的光束所采集到的第一图像，以及，第二图像采集装置根据入射的光束所采集到的第二图像；分别对第一图像和第二图像进行二值图像处理；对进行二值图像处理后的第一图像和第二图像进行检测区域定位；对进行检测区域定位后的第一图像进行异物检测，以及，对进行检测区域定位后的第二图像进行金线检测。通过上述方式，本发明实施例能够实现对半导体材料表面的灰尘颗粒或者金线位置进行检测。

本发明授权一种检测方法、装置以及光学检测设备在权利要求书中公布了：1.一种检测方法，应用于光学检测设备，所述光学检测设备包括架体、第一图像采集装置、第二图像采集装置、分光镜和光源，所述第一图像采集装置和第二图像采集装置均设置于所述架体，所述第二图像采集装置的光轴和所述第一图像采集装置的光轴相互垂直，所述分光镜设置于架体，并且所述分光镜设置于所述第一图像采集装置的光轴和第二图像采集装置的光轴交汇处，所述光源设置于所述架体，其特征在于，包括： 控制所述光源向待测物品照射光束，其中，所述光束经过待测物品反射部分穿过所述分光镜入射至所述第一图像采集装置，部分经过所述分光镜反射至所述第二图像采集装置； 获取所述第一图像采集装置根据入射的光束所采集到的第一图像，以及，所述第二图像采集装置根据入射的光束所采集到的第二图像； 分别对所述第一图像和第二图像进行二值图像处理； 对进行二值图像处理后的所述第一图像和所述第二图像进行检测区域定位； 对进行检测区域定位后的所述第一图像进行异物检测，以及，对进行检测区域定位后的所述第二图像进行金线检测。

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