深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114332012B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111635507.0,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质是由陈鲁;肖遥;佟异;张嵩设计研发完成,并于2021-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质在说明书摘要公布了:本申请公开了缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质,缺陷检测设备获取待测件的检测图像;确定检测图像的待测区域;对待测区域进行二值化处理,获取二值图像;确定二值图像中边缘区域,边缘区域包括多个待测区域的白色像素点;沿第一方向或沿第二方向对边缘区域的待测像素点进行检测;确定边缘区域上每一列或每一行的特征点,当特征点的数量大于或等于预设数量时,确定特征点为待测件的缺陷。通过确定晶圆上待测区域的边缘区域,并确定边缘区域上的特征点,再根据特征点确定待测件的缺陷,能够准确的通过特征点的位置确定待测件上的缺陷类型,提高对待测件的检测准确率,避免由于检测准确率低而进行复检,提高待测件的检测效率。
本发明授权缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质在权利要求书中公布了:1.一种缺陷检测方法,其特征在于,所述缺陷检测方法包括: 获取待测件的检测图像; 确定所述检测图像的待测区域; 对所述待测区域进行二值化处理,获取二值图像; 确定所述二值图像中所述待测区域的边缘区域; 以所述边缘区域的像素点为中心,以预设检测长度为半径,沿第一方向或沿第二方向对所述边缘区域的待测像素点进行检测; 确定所述边缘区域上每一列或每一行的跳变点;其中,当所述二值图像中任一像素点为白色像素点,且该像素点的上下左右方向上存在黑色像素点时,确定该像素点为所述跳变点; 当所述跳变点与所述边缘区域的距离大于或等于预设长度时,确定所述跳变点为特征点,当所述特征点的数量大于或等于预设数量时,确定所述特征点为所述待测件的缺陷。
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