中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))董显山获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))申请的专利电容失配检测电路、方法和检测设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115586348B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211122248.6,技术领域涉及:G01P21/00;该发明授权电容失配检测电路、方法和检测设备是由董显山;黄鑫龙;周斌;黄钦文;苏伟;黄一雄;路国光;黄云设计研发完成,并于2022-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本电容失配检测电路、方法和检测设备在说明书摘要公布了:本申请涉及一种电容失配检测电路、方法和检测设备。所述电容失配检测电路与加速度计的差分电容结构连接,电容失配检测电路包括输入电路和控制器;输入电路分别与差分电容结构的上极板和差分电容结构的下极板连接,控制器的输出端与输入电路连接,控制器的输入端与差分电容结构的中间极板连接;输入电路,用于获取输入信号,并根据输入信号在差分电容结构的上下极板施加电压;控制器,用于获取差分电容结构的中间极板的输出信号,并在输出信号符合预设条件的情况下,根据输入信号确定差分电容结构的电容失配量化值。采用电容失配检测电路能够实现对电容式MEMS加速度计的本征电容失配值进行检测。
本发明授权电容失配检测电路、方法和检测设备在权利要求书中公布了:1.一种电容失配检测电路,其特征在于,所述电容失配检测电路与加速度计的差分电容结构连接,所述电容失配检测电路包括输入电路和控制器;所述输入电路分别与所述差分电容结构的上极板和所述差分电容结构的下极板连接,所述控制器的输出端与所述输入电路连接,所述控制器的输入端与所述差分电容结构的中间极板连接; 所述输入电路,用于获取输入信号,并根据所述输入信号在所述差分电容结构的上下极板施加电压; 所述控制器,用于获取所述差分电容结构的中间极板的输出信号,并在所述输出信号符合预设条件的情况下,确定中间极板所受的静电力为0,并根据所述输入信号确定所述差分电容结构的电容失配量化值;所述差分电容结构的电容失配量化值其中,ε0为真空介电常数,εr为极板间相对介电常数,S为极板间交叠面积,d0为上极板和下极板的中间位置到上极板或下极板的距离,α为极板间距系数,当加速度计的加速度为0,且中间极板所受的静电力为0时,dT为中间极板和上极板之间的距离,dB为中间极板和下极板之间的距离,VT为输入电路加载在上极板上的电压中的直流电压,VB为输入电路加载在下极板上的电压中的直流电压; 所述输出信号符合预设条件包括:所述中间极板的输出信号与零偏检测时的输出信号匹配。
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