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龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利离子注入工艺中定向器的监测方法、装置及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116207010B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211743622.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权离子注入工艺中定向器的监测方法、装置及存储介质是由苏文华;李振雨设计研发完成，并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本离子注入工艺中定向器的监测方法、装置及存储介质在说明书摘要公布了：本申请提供了离子注入工艺中定向器的监测方法、装置及存储介质；所述方法包括：确定一个往返行程内信号发生器发射的光信号的第一光强；确定信号接收器接收的光信号的第二光强和所述信号接收器的位置信息；基于所述一个移动周期内所述信号接收器的位置信息确定所述定向器是否异常，和或基于所述第一光强与所述第二光强确定所述定向器是否异常；其中，所述信号发生器和所述信号接收器分别位于晶圆圆周的两侧，所述一个往返行程为所述信号接收器在定向器的电机的驱动下，在所述信号接收器可移动范围内的起始点移动至终点后，再回到所述起始点的行程。

本发明授权离子注入工艺中定向器的监测方法、装置及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种离子注入工艺中定向器的检测方法，其特征在于，所述方法包括： 确定一个往返行程内信号发生器发射的光信号的第一光强； 确定信号接收器接收的光信号的第二光强和所述信号接收器的位置信息； 基于一个移动周期内所述信号接收器的位置信息确定所述定向器是否异常，和或基于所述第一光强与所述第二光强确定所述定向器是否异常； 其中，所述信号发生器和所述信号接收器分别位于晶圆圆周的两侧，所述一个往返行程为所述信号接收器在定向器的电机的驱动下，在所述信号接收器可移动范围内的起始点移动至终点后，再回到所述起始点的行程； 基于一个移动周期内所述信号接收器的位置信息确定所述定向器是否异常，包括： 若在所述一个往返行程内，所述信号接收器两次初始接收到所述光信号的位置相同、所述信号接收器两次接收到全部光信号的位置相同，以及所述信号接收器两次到达所述晶圆的位置相同，则确定所述定向器未发生异常； 基于所述第一光强与所述第二光强确定所述定向器是否异常，包括： 若所述信号接收器在所述电机的驱动下，位于所述晶圆的最上端位置时，所述信号接收器接收的第二光强等于所述第一光强，则确定所述定向器未发生异常。

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