上海镭望光学科技有限公司邱嘉桦获国家专利权
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龙图腾网获悉上海镭望光学科技有限公司申请的专利一种基于Scheimpflug条件的微反射镜阵列角位置监测光学系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116974150B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310879356.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种基于Scheimpflug条件的微反射镜阵列角位置监测光学系统是由邱嘉桦设计研发完成，并于2023-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于Scheimpflug条件的微反射镜阵列角位置监测光学系统在说明书摘要公布了：一种基于Scheimpflug条件的微反射镜阵列角位置监测光学系统，沿光束传播方向依次设置有激光器阵列、微透镜阵列、多阶梯平板玻璃、成像镜组、微反射镜阵列、反射光接收镜组和位置传感器；激光器阵列发射一定数值孔径的阵列光束，微透镜阵列将所述阵列光束准直后垂直射入多阶梯平板玻璃，成像镜组将多阶梯平板玻璃出射的阵列光束投影成像至微反射镜阵列，且激光器阵列、微反射镜阵列和成像镜组满足Scheimpflug条件，以使微反射镜处的光斑尺寸小于微反射镜的有效区域；反射光接收镜组将微反射镜阵列反射的光束聚焦至位置传感器，通过位置传感器对微反射镜阵列中各微反射镜的角位置进行监测。微反射镜阵列处成像质量优异、结构简单、易于装调、测量精度高、监测效率快。
本发明授权一种基于Scheimpflug条件的微反射镜阵列角位置监测光学系统在权利要求书中公布了：1.一种基于Scheimpflug条件的微反射镜阵列角位置监测光学系统，其特征在于，沿光束传播方向依次设置有激光器阵列、微透镜阵列、多阶梯平板玻璃、成像镜组、微反射镜阵列、反射光接收镜组和位置传感器； 所述激光器阵列发射具有一定数值孔径的阵列光束，所述微透镜阵列将所述阵列光束准直后垂直射入所述多阶梯平板玻璃，所述成像镜组将所述多阶梯平板玻璃出射的阵列光束投影成像至所述微反射镜阵列，且所述激光器阵列、微反射镜阵列和成像镜组满足Scheimpflug条件，以使光束传播至所述微反射镜阵列中对应微反射镜处的光斑尺寸小于微反射镜的有效区域； 所述反射光接收镜组将所述微反射镜阵列反射的光束聚焦至所述位置传感器，通过所述位置传感器对所述微反射镜阵列中各微反射镜的角位置进行监测。
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