上海积塔半导体有限公司何勇获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利电子束蒸发台的检测系统及检测方法、存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117418209B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311315412.X，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权电子束蒸发台的检测系统及检测方法、存储介质是由何勇;解海江设计研发完成，并于2023-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子束蒸发台的检测系统及检测方法、存储介质在说明书摘要公布了：本申请涉及一种电子束蒸发台的检测系统及检测方法、存储介质。该检测系统包括重力检测装置，位于行星架背离镀锅的表面，用于检测行星架的实时重量，并生成重量检测信号；判定装置，用于接收并根据重量检测信号判定安装在行星架上的镀锅的数量，在判定镀锅均安装在行星架上时，生成第一控制信号；控制装置，用于接收并根据第一控制信号控制旋转马达处于锁死状态，以禁止镀锅的手动旋转。消除镀锅受手动推力旋转时，受力不均匀导致镀锅上的晶圆发生碎片的问题，降低了蒸发台导致的晶圆报废量，从而降低制造成本。
本发明授权电子束蒸发台的检测系统及检测方法、存储介质在权利要求书中公布了：1.一种电子束蒸发台的检测系统，其特征在于，所述电子束蒸发台包括行星架和镀锅，所述镀锅可拆卸的安装于所述行星架上，所述检测系统包括： 重力检测装置，位于所述行星架背离所述镀锅的表面，用于检测所述行星架的实时重量，并生成重量检测信号； 判定装置，用于接收并根据所述重量检测信号判定安装在所述行星架上的镀锅的数量，在判定所述镀锅均安装在所述行星架上时，生成第一控制信号； 控制装置，用于接收并根据所述第一控制信号控制旋转马达处于锁死状态，以禁止所述镀锅的手动旋转。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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