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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置及衬底处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118248589B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311791912.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权衬底处理装置及衬底处理方法是由冈田吉文;冲田展彬;中村一树设计研发完成，并于2023-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底处理装置及衬底处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。本发明是利用上侧保持装置保持衬底的外周端部，使用下表面刷将该衬底的下表面中央区域洗净。在该洗净时，处于上侧保持装置下方的下侧保持装置的吸附保持部旋转。将由上侧保持装置保持的衬底交递到下侧保持装置的吸附保持部。由吸附保持部保持的衬底的下表面外侧区域被洗净。在将衬底的下表面中央区域洗净后，到衬底被交递给下侧保持装置的吸附保持部为止的期间，下侧保持装置的吸附保持部的旋转停止。另外，通过基座装置使吸附保持部沿水平方向移动。以动作期间的至少一部分重叠的方式进行吸附保持部的旋转停止动作及吸附保持部的水平移动动作。

本发明授权衬底处理装置及衬底处理方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，具备： 第1衬底保持部，保持衬底的周缘部； 第2衬底保持部，构成为能够在比所述第1衬底保持部更靠下方的位置保持衬底的下表面中央区域； 旋转驱动部，使所述第2衬底保持部绕上下方向的轴旋转； 刷洗净部，构成为能够使刷与由所述第1衬底保持部保持的衬底的所述下表面中央区域接触而将该下表面中央区域洗净，且能够使所述刷与由所述第2衬底保持部保持的衬底的包围所述下表面中央区域的下表面外侧区域接触而将该下表面外侧区域洗净； 水平移动部，进行改变所述第1衬底保持部与所述第2衬底保持部的水平面内的相对位置关系的水平移动动作；以及 控制部；且 所述控制部 在对衬底进行洗净处理的时候，通过控制所述第1衬底保持部、所述第2衬底保持部、所述旋转驱动部、所述刷洗净部及所述水平移动部，而 一边使所述第2衬底保持部旋转，一边利用所述刷洗净部将由所述第1衬底保持部保持的所述衬底的所述下表面中央区域洗净， 在将所述衬底的所述下表面中央区域洗净后，使所述第2衬底保持部停止旋转，以便将所述衬底从所述第1衬底保持部交递到所述第2衬底保持部， 在将所述衬底的所述下表面中央区域洗净后，使所述水平移动部进行所述水平移动动作，以便将所述衬底从所述第1衬底保持部交递到所述第2衬底保持部， 将所述衬底从所述第1衬底保持部交递到所述第2衬底保持部之后，一边使所述第2衬底保持部旋转，一边利用所述刷洗净部将由所述第2衬底保持部保持的所述衬底的所述下表面外侧区域洗净， 在将所述衬底的所述下表面中央区域洗净之后到所述衬底被交递给所述第2衬底保持部为止的期间，以所述第2衬底保持部的旋转停止动作的期间与所述水平移动动作的期间的至少一部分重叠的方式，进行所述旋转停止动作及所述水平移动动作。

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