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龙图腾网获悉江西万年芯微电子有限公司申请的专利一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118577569B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410681095.1，技术领域涉及：B08B5/02；该发明授权一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置是由艾育林;吴昊如;王雨静;陆寅鹏;朱锦辉设计研发完成，并于2024-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置，涉及半导体部件除污装置技术领域，该基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置，包括固定架，固定架的一侧表面转动连接有转轴，转轴以固定架的竖直中心线为参照呈对称设置，转轴的外表面传动连接有输送带，输送带靠近固定架的一侧表面均匀固定连接有凸块，该装置在使用时，使气体均匀的覆盖至半导体部件的表面，确保半导体部件的各个角落都能被气体吹扫到，从而减少清洁死角，同时，避免半导体表面某些区域因距离吹扫孔较近，导致在除污时，受到较大的冲击力，造成的半导体表面损伤，使半导体部件每次在相同的地方进行表面除污，保持除污过程的一致性和可追溯性。

本发明授权一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置在权利要求书中公布了：1.一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置，包括固定架（1），所述固定架（1）的一侧表面转动连接有转轴（2），所述转轴（2）以固定架（1）的竖直中心线为参照呈对称设置，所述转轴（2）的外表面传动连接有输送带（3），其特征在于，所述输送带（3）靠近固定架（1）的一侧表面均匀固定连接有凸块（4），所述固定架（1）远离转轴（2）一侧的表面固定连接有电机（5），所述电机（5）的输出轴端贯穿固定架（1）且延伸至固定架（1）靠近转轴（2）的一侧，所述电机（5）输出轴延伸至转轴（2）的一端固定连接有连杆一（6），所述连杆一（6）远离电机（5）的一端转动连接有连杆二（7），所述固定架（1）靠近转轴（2）的一侧表面开设有滑槽一（8），所述滑槽一（8）内部滑动连接有滑块（9），所述滑块（9）与连杆二（7）远离连杆一（6）的一端转动连接，所述滑块（9）靠近输送带（3）的一侧表面转动连接有推杆（10），所述滑块（9）靠近输送带（3）的一侧表面固定连接有挡柱（11）； 所述固定架（1）靠近电机（5）一侧的表面固定连接有气泵（20），所述固定架（1）靠近输送带（3）的一侧表面固定连接有连接管（21），所述连接管（21）贯穿固定架（1）延伸至固定架（1）靠近气泵（20）的一侧，且连接管（21）贯穿固定架（1）的一端与气泵（20）连通，所述固定架（1）靠近输送带（3）的一侧表面固定连接有固定箱（22），所述固定箱（22）两侧板的下表面均设置为斜面，所述连接管（21）的下表面均匀连通有软管（23），所述软管（23）远离连接管（21）的一端均贯穿固定箱（22）延伸至固定箱（22）内部，所述固定箱（22）的内部滑动连接有吹扫管（24），所述软管（23）延伸至固定箱（22）内部的一端均与吹扫管（24）连通，所述吹扫管（24）的下表面均匀开设有吹扫孔（25）； 所述吹扫孔（25）为倾斜开设，且吹扫孔（25）距离软管（23）越近，其孔径尺寸逐步递减。

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