深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利光束整形系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118655710B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410811013.0,技术领域涉及:G02B27/09;该发明授权光束整形系统是由陈鲁;张龙;云奋蛟;黄有为设计研发完成,并于2024-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本光束整形系统在说明书摘要公布了:本申请实施例公开了光束整形系统,用于以较低成本将光源发出的光束整形为均匀性较高且线宽较窄的线光斑。本申请实施例包括:光源,用于发出初始光束;第一自由曲面镜,用于使所述初始光束中的能量均匀分布;第二自由曲面镜,用于调整从所述第一自由曲面镜出射的初始光束在第一轴向的尺寸,并使调整后的初始光束照射至待测表面形成线光斑,所述第一轴向与所述初始光束的光轴垂直或平行;其中,所述初始光束在第二轴向的尺寸由所述第一自由曲面镜调整或者由所述第二自由曲面镜调整,所述第一轴向与所述第二轴向垂直。
本发明授权光束整形系统在权利要求书中公布了:1.一种光束整形系统,其特征在于,包括: 光源,用于发出初始光束; 第一自由曲面镜,用于使所述初始光束中的能量均匀分布; 第二自由曲面镜,用于调整从所述第一自由曲面镜出射的初始光束在第一轴向的尺寸,并使调整后的初始光束照射至待测表面形成线光斑,所述第一轴向与所述初始光束的光轴垂直或平行; 其中,所述初始光束在第二轴向的尺寸由所述第一自由曲面镜调整或者由所述第二自由曲面镜调整,所述第一轴向与所述第二轴向垂直; 所述初始光束在所述第二轴向的尺寸由所述第一自由曲面镜调整,所述待测表面不垂直于所述调整后的初始光束的光轴; 所述第二自由曲面镜,还用于对从所述第二自由曲面镜出射的初始光束进行离焦补偿,使照射至所述待测表面形成的线光斑处于聚焦状态。
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