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龙图腾网获悉东莞泽攸精密仪器有限公司;安徽泽攸科技有限公司申请的专利电子显微镜的低真空度控制系统及低真空度控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118888415B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410835667.7，技术领域涉及：H01J37/18；该发明授权电子显微镜的低真空度控制系统及低真空度控制方法是由牛义;张小龙;郑飞;解江灿;龚坤湘设计研发完成，并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本电子显微镜的低真空度控制系统及低真空度控制方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种电子显微镜的低真空度控制系统及低真空度控制方法，低真空度控制系统包括样品仓、第一真空检测件、第一阀体、稳压装置、第二阀体、机械泵、控制器，第一真空检测件实时检测样品仓内的实际真空度；控制器将实际真空度与预设的目标真空度进行对比；当实际真空度低于目标真空度时，控制器控制第一阀体开启，稳压装置释放气体至样品仓，将实际真空度提高至目标真空度；当实际真空度高于目标真空度时，控制器控制第二阀体开启，机械泵抽离样品仓的气体，将实际真空度降低至目标真空度。本申请能够精确调控样品仓内的真空度，使得低真空环境不再成为电子显微镜的工作限制，显著提高了低真空环境下的电子显微镜的成像质量和工作稳定性。

本发明授权电子显微镜的低真空度控制系统及低真空度控制方法在权利要求书中公布了：1.一种电子显微镜的低真空度控制系统，其特征在于，所述低真空度控制系统包括样品仓、第一真空检测件、第一阀体、稳压装置、第二阀体、机械泵、控制器，所述第一真空检测件安装于所述样品仓内，所述稳压装置通过供气管道连接所述样品仓，所述第一阀体设置于所述供气管道，所述机械泵通过抽气管道连接所述样品仓，所述第二阀体设置于所述抽气管道，所述控制器与所述第一真空检测件、所述第一阀体、所述第二阀体电连接； 所述第一真空检测件实时检测所述样品仓内的实际真空度，并实时反馈至所述控制器；所述控制器将所述实际真空度与预设的目标真空度进行对比；当所述实际真空度低于所述目标真空度时，所述控制器控制所述第一阀体开启，并调整所述第一阀体的开启度，所述稳压装置释放气体至所述样品仓，直至将所述实际真空度提高至所述目标真空度；当所述实际真空度高于所述目标真空度时，所述控制器控制所述第二阀体开启，所述机械泵抽离所述样品仓的气体，直至将所述实际真空度降低至所述目标真空度。

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