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合肥工业大学毕冉获国家专利权

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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利一种原位痕量元素及同位素分析装置的异常监控优化系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118759034B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410915453.0,技术领域涉及:G01N27/626;该发明授权一种原位痕量元素及同位素分析装置的异常监控优化系统是由毕冉;汪方跃;陈臻铭;张子龙;张硕;李承禹设计研发完成,并于2024-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种原位痕量元素及同位素分析装置的异常监控优化系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种原位痕量元素及同位素分析装置的异常监控优化系统,包括:优化监管模块以及与优化监管模块分别连接的钳形交流霍尔互感器、压力传感器、电磁闸阀、电磁流量计和双向三通阀;钳形交流霍尔互感器安装于配电箱至电感耦合等离子质谱仪的主电源回路中,电磁闸阀和电磁流量计采用串联整合的方式嵌入气体管理组件的载气输送管道;优化监管模块对收集到的电流、气体压力及流量数据进行深度分析处理,进行对联机设备的异常状况监测和性能优化。其通过高度集成化的设计、实时的数据处理能力、灵活的控制策略以及高效的故障诊断机制,优化了联机设备的能效管理,提升了维护便利性,实现了联机设备的高效与稳定运行。

本发明授权一种原位痕量元素及同位素分析装置的异常监控优化系统在权利要求书中公布了:1.一种原位痕量元素及同位素分析装置的异常监控优化系统,应用于激光剥蚀装置、电感耦合等离子质谱仪及气体管理组件构成的联机设备,其特征在于,包括:优化监管模块以及与所述优化监管模块分别连接的钳形交流霍尔互感器、压力传感器、电磁闸阀、电磁流量计和双向三通阀; 所述钳形交流霍尔互感器安装于配电箱至电感耦合等离子质谱仪的主电源回路中,用于采集主电源回路中的电流信息; 所述压力传感器接入气体管理组件内部的等离子气体通道,用于采集等离子气体通道中的气体压力信息; 所述电磁闸阀和电磁流量计采用串联整合的方式嵌入气体管理组件的载气输送管道,用于调控载气流量并进行载气流量信息采集; 所述双向三通阀安装在激光剥蚀装置的剥蚀室排放口,用于切换气流方向; 所述优化监管模块对收集到的电流、气体压力及流量数据进行深度分析处理,进行对所述联机设备的异常状况监测和性能优化; 所述优化监管模块包括预警监控单元,用于通过等离子气体通道中的气体压力信息,计算当前气体压力值与标准气体压力值的差值,并将所述差值与预设气体压力差值阈值进行比较,当所述差值大于预设气体压力差值阈值时,通过运行信号触发端子,控制激光剥蚀装置停止运行; 所述优化监管模块包括异常监控单元,用于通过主电源回路中的电流信息,计算主电源回路实时功率,与预设主电源回路功率阈值进行比较,当所述主电源回路实时功率小于预设主电源回路功率阈值时,通过运行信号触发端子,控制激光剥蚀装置停止运行,并将双向三通阀切换至泄压侧,关闭电磁闸阀; 所述优化监管模块包括载气输送管道优化单元,用于通过载气流量信息,进行预设时段内的载气流量预测,并基于预测结果进行电磁闸阀控制,匹配载气流量需求。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人合肥工业大学,其通讯地址为:230009 安徽省合肥市屯溪路193号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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