浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司傅林坚获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利一种晶片承载装置及外延生长设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223329426U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421780559.6,技术领域涉及:C30B25/12;该实用新型一种晶片承载装置及外延生长设备是由傅林坚;刘毅;曹建伟;朱亮;鲁冲昊设计研发完成,并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶片承载装置及外延生长设备在说明书摘要公布了:本申请涉及晶片生长技术领域,公开了一种晶片承载装置及外延生长设备,包括:旋转机构、承载组件及升降机构,所述旋转机构包括转动内轴,所述转动内轴具有绕自身轴线转动的转动自由度;所述承载组件与所述转动内轴连接,可随所述转动内轴同步运动;所述升降机构包括:丝杆模组及升降底座,所述丝杆模组包括至少一移动件,所述移动件具有竖直方向的移动自由度,所述升降底座与所述移动件连接,用于安装所述旋转机构,所述升降底座可带动所述旋转机构随所述移动件同步升降。解决了晶片反应面处气体及温度的均匀性的技术问题,达到提高晶片反应面处气体及温度的均匀性以提高外延生长加工质量的技术效果。
本实用新型一种晶片承载装置及外延生长设备在权利要求书中公布了:1.一种晶片承载装置,其特征在于,包括: 旋转机构100,所述旋转机构100包括转动内轴110; 承载组件200,所述承载组件200与所述转动内轴110连接,用于承载晶片300,所述承载组件200随所述转动内轴110同步运动;以及 升降机构400; 所述升降机构400包括: 丝杆模组410,所述丝杆模组410包括至少一移动件411,所述移动件411具有竖直方向的移动自由度;和 升降底座420,所述升降底座420与所述移动件411连接,所述升降底座420用于安装所述旋转机构100,所述升降底座420可带动所述旋转机构100随所述移动件411同步升降。
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