北京七星华创集成电路装备有限公司郭亮获国家专利权
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龙图腾网获悉北京七星华创集成电路装备有限公司申请的专利基板支撑结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223333769U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421824676.8,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型基板支撑结构是由郭亮;潘忠怀;田永安设计研发完成,并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板支撑结构在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种基板支撑结构,包括多个支撑杆件和多个调节组件,多个支撑杆件间隔设置,用于共同支撑基板,每个支撑杆件的端部均设置有调节组件,调节组件用于调节对应设置的支撑杆件的挠度。本实用新型提供的基板支撑结构,能够使基板支撑结构在后期维护过程中的调整操作简单方便,提高基板支撑结构后期维护的调整效率。
本实用新型基板支撑结构在权利要求书中公布了:1.一种基板支撑结构,其特征在于,包括多个支撑杆件和多个调节组件,多个所述支撑杆件间隔设置,用于共同支撑基板,每个所述支撑杆件的端部均设置有所述调节组件,所述调节组件用于调节对应设置的所述支撑杆件的挠度; 所述调节组件包括调节部件和施力部件,所述调节部件与所述支撑杆件连接,且所述调节部件的一端可转动的固定,所述施力部件与所述调节部件配合设置,用于向所述调节部件施加下压力或上抬力,使所述调节部件向下或向上转动,以带动所述支撑杆件向下或向上挠曲变形; 所述支撑结构还包括支撑梁,所述调节部件的部分与所述支撑杆件的端部连接。
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