天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司刘凯获国家专利权
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龙图腾网获悉天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司申请的专利一种大直径单晶硅电阻率检测设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223333084U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421971288.2,技术领域涉及:G01R27/02;该实用新型一种大直径单晶硅电阻率检测设备是由刘凯;张震;高垚;郭京涛;苗向春;刘顺玲;叶舒剑;谭永麟设计研发完成,并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大直径单晶硅电阻率检测设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种大直径单晶硅电阻率检测设备,包括定位平台、支撑平台、移动支架和探针;其中定位平台用于承托单晶硅;支撑平台转动连接于定位平台下方,设置有旋转限位机构;移动支架活动设置于支撑平台;探针连接于移动支架,并通过移动支架的动作实现横向移动、纵向移动和升降。本实用新型通过设置可旋转的定位平台实现了单晶硅的转向,通过沿单向移动探针即可完成单晶硅两个直径上的检测点位的测量,简化了探针移动和定位的操作,大幅提高了检测效率。通过设置定位凹台和定位标记,提高了检测结果的准确性;可用于多种规格的单晶硅电阻率检测;定位平台旋转稳定,旋转角度可精准控制,操作简便。
本实用新型一种大直径单晶硅电阻率检测设备在权利要求书中公布了:1.一种大直径单晶硅电阻率检测设备,其特征在于,包括定位平台、支撑平台、移动支架和探针;其中,定位平台转动连接于所述支撑平台上部,用于承托单晶硅;支撑平台设置有用于限制所述定位平台旋转的旋转限位机构;移动支架活动设置于所述支撑平台;探针连接于所述移动支架,并通过所述移动支架的动作实现横向移动、纵向移动和升降。
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