应用材料以色列公司M·拉皮德获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料以色列公司申请的专利用于扫描表面的系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223333216U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421978798.2,技术领域涉及:G02B21/00;该实用新型用于扫描表面的系统是由M·拉皮德设计研发完成,并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于扫描表面的系统在说明书摘要公布了:一种用于扫描表面的系统包括:照明系统,该照明系统提供用于照明检查对象上的视场FOV的检查光,以产生来自检查对象的反射光束;物镜布置,该物镜布置位于照明系统和所述表面之间;光分离器:该光分离器具有反射表面,该反射表面被布置成:将检查光朝向FOV引导;以及接收明场光和改变明场光的方向,该明场光包括反射光束的中心部分;以及,该光分离器的尺寸和形状被设计成允许光分离器周围的暗场光包括反射光束的外围部分;保持器,该保持器被配置为向光分离器提供机械支撑,该保持器具有附接到光分离器的第一部分和远离光分离器延伸的第二部分。
本实用新型用于扫描表面的系统在权利要求书中公布了:1.一种用于扫描表面的系统,其特征在于,所述系统包括: 照明系统,所述照明系统提供用于照明检查对象上的视场的检查光,以产生来自所述检查对象的反射光束; 物镜布置,所述物镜布置位于所述照明系统和所述表面之间; 光分离器: 所述光分离器具有反射表面,所述反射表面被布置成: 将所述检查光朝向所述视场引导;以及 接收明场光和改变明场光的方向,所述明场光包括所述反射光束的中心部分;以及 所述光分离器的尺寸和形状被设计成允许所述光分离器周围的暗场光包括所述反射光束的外围部分; 保持器,所述保持器被配置为向所述光分离器提供机械支撑,所述保持器具有附接到所述光分离器的第一部分和远离所述光分离器延伸的第二部分。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人应用材料以色列公司,其通讯地址为:以色列瑞哈佛特市;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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