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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利喷杆调节装置及喷杆调节方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119114494B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411116898.9，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权喷杆调节装置及喷杆调节方法是由路新春;孙传恽;刘佳军;李长坤设计研发完成，并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本喷杆调节装置及喷杆调节方法在说明书摘要公布了：本申请一种喷杆调节装置及喷杆调节方法，所述喷杆用于晶圆清洗装置，喷杆调节装置包括：落点标定件，其可拆卸地安装在所述晶圆清洗装置中，并且其上设置有与晶圆上的预设喷液落点匹配的落点标识；以及指向调节件，其包括与所述喷杆可拆卸地连接的连接部和与所述连接部连接的定位部，所述指向调节件的延伸方向与所述喷杆喷出清洗液的喷射方向匹配，所述指向调节件配置成带动所述喷杆绕其轴线转动至所述定位部与所述落点标识对准，以使所述喷杆能够将清洗液喷射到所述预设喷液落点。根据本申请的技术方案，通过落点标定件和指向调节件的匹配性调节设计，提高了喷杆角度调节准确性和便捷性。

本发明授权喷杆调节装置及喷杆调节方法在权利要求书中公布了：1.一种喷杆调节装置，喷杆用于晶圆清洗装置，其特征在于，喷杆调节装置包括： 落点标定件，其可拆卸地安装在所述晶圆清洗装置中，并且其上设置有与晶圆上的预设喷液落点匹配的落点标识；以及 指向调节件，其包括与所述喷杆可拆卸地连接的连接部和与所述连接部连接的定位部，所述指向调节件的延伸方向与所述喷杆喷出清洗液的喷射方向匹配，所述指向调节件配置成带动所述喷杆绕其轴线转动至所述定位部与所述落点标识对准，以使所述喷杆能够将清洗液喷射到所述预设喷液落点； 所述落点标定件包括沿竖直面布置的板形的本体，所述落点标识包括垂直于所述竖直面自所述本体凸出的标定凸台;所述定位部包括伸缩套筒和定位顶杆,所述定位顶杆的一端滑动套接到所述伸缩套筒中，另一端构造有与所述落点标识相匹配的对准部，所述对准部包括与所述标定凸台的上表面形状匹配的对准台，所述对准台配置成抵靠所述标定凸台的上表面； 所述本体构造有自所述本体的表面向内凹进的标定斜槽，所述标定斜槽沿水平方向延伸，并包括：与所述标定凸台的上表面齐平的底面；自所述底面的靠内的边缘向上延伸的竖立面；和自所述竖立面背离所述底面的边缘倾斜延伸至所述本体的表面的倾斜面；所述落点标识包括在所述竖立面上水平延伸的标识线，所述对准部包括对准尖端，所述对准尖端具有棱边以与所述标识线形成线与线对准； 所述落点标定件的朝向一个喷杆的第一侧设有两个以上标定凸台、朝向另一个喷杆的第二侧设有两个以上标定凸台；落点标定件同一侧的两个以上标定凸台的竖直位置相同；落点标定件两侧的标定凸台设置在不同的竖直位置，以适应晶圆两侧的不同的清洗需求； 所述竖立面所在平面与晶圆在厚度方向上的中截面重合，且竖立面的厚度不小于2mm； 所述标识线设在晶圆中心上方10至100mm处。

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