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江西耀驰科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司徐洲获国家专利权

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龙图腾网获悉江西耀驰科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司申请的专利倒装LED芯片及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119029105B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411162503.9,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权倒装LED芯片及其制备方法是由徐洲;马婷;曹广亮;胡加辉;金从龙设计研发完成,并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

倒装LED芯片及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种倒装LED芯片及其制备方法,涉及半导体光电器件领域。LED芯片的制备方法包括以下步骤:S1、提供外延片;S2、形成键合层;S3、与永久衬底键合;S4、形成第一通孔;S5、在第一通孔内形成第一P电极,得到中间体;其中,第一P电极包括依次层叠于P型半导体层上的第一欧姆接触金属层、垫高层和金属保护层;第一P电极的高度与第一通孔的深度相同;S6、退火;S7、同时在N型半导体层和金属保护层上分别形成第一金属电极层和第二金属电极层,第一金属电极层和第二金属电极层均包括第二欧姆接触金属层和刻蚀阻挡层;S8、退火;S9、形成DBR层,并在第一金属电极层、第二金属电极层所在区域刻蚀形成第二通孔和第三通孔;S10、形成N电极和第二P电极;N电极通过第二通孔与第一金属电极层形成电连接,第二P电极通过第三通孔与第一P电极形成电连接;N电极和第二P电极的高度相同;S11、切割。实施本发明,可提升倒装LED芯片的可靠性。

本发明授权倒装LED芯片及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种倒装LED芯片的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、提供外延片,所述外延片包括临时衬底和依次层叠于所述临时衬底上的N型半导体层、有源层和P型半导体层; S2、在所述P型半导体层上形成键合层; S3、将步骤S2得到的外延片与永久衬底键合,并去除所述临时衬底; S4、形成第一通孔,所述第一通孔刻蚀至所述P型半导体层; S5、在所述第一通孔内形成第一P电极,得到中间体;其中,所述第一P电极包括依次层叠于所述P型半导体层上的第一欧姆接触金属层、垫高层和金属保护层;所述第一P电极的高度与所述第一通孔的深度相同; S6、将步骤S5得到的中间体退火,以使所述第一欧姆接触金属层与所述P型半导体层形成欧姆接触; S7、同时在所述N型半导体层和所述金属保护层上分别形成第一金属电极层和第二金属电极层,所述第一金属电极层和第二金属电极层均包括第二欧姆接触金属层和刻蚀阻挡层; S8、将步骤S7得到的中间体退火,以使所述第一金属电极层的第二欧姆接触金属层与所述N型半导体层形成欧姆接触; S9、在步骤S8得到的中间体上形成DBR层,并在第一金属电极层、第二金属电极层所在区域刻蚀形成第二通孔和第三通孔; S10、形成N电极和第二P电极,得到LED晶圆;其中,所述N电极通过第二通孔与所述第一金属电极层形成电连接,所述第二P电极通过所述第三通孔与所述第一P电极形成电连接;所述N电极和所述第二P电极的高度相同; S11、将所述LED晶圆切割,得到倒装LED芯片。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江西耀驰科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司,其通讯地址为:330000 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥北大道1717号第2层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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