盛华微纳科技(苏州)有限公司张敏获国家专利权
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龙图腾网获悉盛华微纳科技(苏州)有限公司申请的专利用于高同测一次性测试晶圆的探针卡获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223333061U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422108499.X,技术领域涉及:G01R1/073;该实用新型用于高同测一次性测试晶圆的探针卡是由张敏;周鸿锋;郭小芳;李江鹏设计研发完成,并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于高同测一次性测试晶圆的探针卡在说明书摘要公布了:本实用新型公开了用于高同测一次性测试晶圆的探针卡,属于探针卡技术领域,包括线路板,线路板设置有在长度方向上延伸的安装区;多个探针分别设置于安装区,且多个探针分别与线路板电连接;多个探针在长度方向上间隔设置,且任意相邻的两个探针在长度方向上的投影彼此间隔。根据本实用新型设计的探针卡,实现了增大相邻探针之间的距离,避免相邻探针之间彼此接触甚至干涉,保证了探针顺利安装,从而实现高密度设置探针,进而实现减少对晶圆的测试次数,提高了对晶圆的测试效率。
本实用新型用于高同测一次性测试晶圆的探针卡在权利要求书中公布了:1.一种用于高同测一次性测试晶圆的探针卡,其特征在于,包括: 线路板10,所述线路板10设置有在长度方向上延伸的安装区11; 多个探针20,多个所述探针20分别设置于所述安装区11,且多个所述探针20分别与所述线路板10电连接;其中 多个所述探针20在长度方向上间隔设置,且任意相邻的两个探针20在长度方向上的投影彼此间隔。
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