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龙图腾网获悉源卓微纳科技(苏州)股份有限公司申请的专利一种反射式光刻镜头获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118859646B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411204670.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种反射式光刻镜头是由白昊东;张柯;张雷设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种反射式光刻镜头在说明书摘要公布了：本发明涉及一种反射式光刻镜头，包括沿第一光轴方向依次设置的第一透镜、第一反射镜，沿第二光轴方向依次设置的第二反射镜、与第二反射镜同心设置的光阑、第二透镜组、第六透镜，通过物面到第一透镜的距离、光阑到像面的距离的约束，可以较好地平衡各种光学像差，使光刻镜头实现较大的视场的同时，具备优异的成像性能，从而解决现有光刻镜头视场小的问题。另外，本发明的光刻镜头采用反射式结构，使光线正反向两次经过第二透镜组，在保证光束传输距离的同时减少了镜片数量，从而有效减小光刻镜头的体积，降低光刻镜头的成本和组装难度。

本发明授权一种反射式光刻镜头在权利要求书中公布了：1.一种反射式光刻镜头，用于紫外波段，其特征在于，包括沿第一光轴方向依次设置的第一透镜、第一反射镜，沿第二光轴方向依次设置的第二反射镜、与第二反射镜同心设置的光阑、第二透镜组、第六透镜，所述第一光轴方向和所述第二光轴方向垂直； 所述第一透镜靠近物面设置；所述第一反射镜位于所述第一透镜远离物面的一侧，且设置于所述第二透镜组和所述第六透镜之间，所述第一反射镜与所述第一光轴方向成45°夹角，所述第二反射镜与所述第二光轴方向垂直； 物面发出的光束经过所述第一透镜，由所述第一反射镜反射至正向经过所述第二透镜组后，由所述第二反射镜反射至反向经过所述第二透镜组，然后经过所述第六透镜会聚成像面； 所述光刻镜头满足以下关系式： 0.02D1f0.021 0.15D2f0.16 其中，f为所述光刻镜头的总光焦度，D1为物面到所述第一透镜的距离，D2为所述光阑到像面的距离； 所述第一透镜为正光焦度，所述第一透镜为凹面朝向物面的弯月透镜，所述第六透镜为正光焦度，所述第六透镜为凹面朝向像面的弯月透镜； 所述第二透镜组包括依次设置的第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜，所述第二透镜设置于靠近所述第一反射镜的一侧，所述第五透镜设置于靠近所述第二反射镜的一侧，所述第二透镜、所述第三透镜、所述第四透镜均为正光焦度，所述第五透镜为负光焦度； 所述第二透镜为双凸透镜，所述第三透镜、所述第四透镜和所述第五透镜均为凹面朝向所述光阑的弯月透镜，所述第五透镜靠近所述光阑的一侧与所述光阑之间的距离大于120mm； 所述第一反射镜和所述第二反射镜均为平面反射镜。

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