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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种检测自参考干涉仪棱镜光程差的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119164614B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411243781.7，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权一种检测自参考干涉仪棱镜光程差的方法是由马敬;齐月静;苏佳妮;齐威设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种检测自参考干涉仪棱镜光程差的方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种检测自参考干涉仪棱镜光程差的方法，包括：白光光源发出的光进入偏振分光棱镜后分成两束偏振光，在偏振分光棱镜上方安装自参考干涉仪棱镜，在位移台上分别安装第一反射镜和第二反射镜，在自参考干涉仪棱镜下方设置分光棱镜，在偏振分光棱镜与自参考干涉仪棱镜之间的光路上设置第一半波片，在偏振分光棱镜与第一反射镜之间的光路上设置第二半波片；测量自参考干涉仪棱镜中第一棱镜的光程，获取位移台距离初始位置的位移距离L1；测量自参考干涉仪棱镜中第二棱镜的光程，获取位移台距离初始位置的位移距离L2；然后基于L1和L2，计算获取自参考干涉仪棱镜的光程差。本发明能够实现对自参考干涉仪棱镜光程差的精确测量。

本发明授权一种检测自参考干涉仪棱镜光程差的方法在权利要求书中公布了：1.一种检测自参考干涉仪棱镜光程差的方法，其特征在于，包括： 白光光源发出的光从偏振分光棱镜的正中心垂直入射后分成第一偏振光和第二偏振光； 在所述偏振分光棱镜的上方安装自参考干涉仪棱镜，以使所述第一偏振光能够从所述自参考干涉仪棱镜的入射面垂直入射； 在位移台上分别安装第一反射镜和第二反射镜，使所述第二偏振光的光线依次经过所述第一反射镜和所述第二反射镜进行反射，所述第一反射镜的入射光线与所述第二反射镜的出射光线相互平行； 在所述自参考干涉仪棱镜的下方设置分光棱镜，以使所述第二反射镜的出射光线和所述自参考干涉仪棱镜的出射光线分别射入所述分光棱镜，并分别经过所述分光棱镜透射和反射后到达探测器； 在所述偏振分光棱镜与所述自参考干涉仪棱镜之间的光路上设置第一半波片，在所述偏振分光棱镜与所述第一反射镜之间的光路上设置第二半波片； 测量所述自参考干涉仪棱镜中第一棱镜的光程，调整所述位移台沿着所述第一反射镜的入射光线方向移动，直至在所述探测器上观察到中间干涉条纹为白色，两边干涉条纹为彩色，获取所述位移台距离初始位置的位移距离L1； 测量所述自参考干涉仪棱镜中第二棱镜的光程，调整所述位移台沿着所述第一反射镜的入射光线方向移动，直至在所述探测器上观察到中间干涉条纹为白色，两边干涉条纹为彩色，获取所述位移台距离初始位置的位移距离L2； 基于所述位移距离L1和所述位移距离L2，计算获取所述自参考干涉仪棱镜的光程差。

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