星钥半导体(武汉)有限公司杨东获国家专利权
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龙图腾网获悉星钥半导体(武汉)有限公司申请的专利一种清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223325047U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422233160.2，技术领域涉及：B08B1/12；该实用新型一种清洗装置是由杨东设计研发完成，并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种清洗装置，应用于半导体技术领域，包括：清洗腔、保湿腔、清洗刷和传送装置；清洗腔设置有清洗刷第一进出口；保湿腔设置有保湿液进口和清洗刷第二进出口；保湿腔设置在清洗腔的外侧；清洗刷第一进出口和清洗刷第二进出口连通；传送装置和清洗刷连接，带动清洗刷从清洗腔的内部移动至保湿腔的内部，或从保湿腔的内部移动至清洗腔的内部。本实用新型添加了保湿腔和传送装置，当清洗刷空闲时，通过传送装置可以将清洗刷从清洗腔的内部移动至保湿腔的内部，通过保湿腔的保湿液进口，向保湿腔的内部提供保湿液，通过保湿液对清洗刷进行保湿，通过保湿后的清洗刷对晶圆进行清洗不仅能够提高清洁效果，而且能够避免损伤晶圆。
本实用新型一种清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种清洗装置，其特征在于，包括：清洗腔、保湿腔、清洗刷和传送装置； 所述清洗腔设置有清洗刷第一进出口；所述保湿腔设置有保湿液进口和清洗刷第二进出口；所述保湿腔设置在所述清洗腔的外侧；所述清洗刷第一进出口和所述清洗刷第二进出口连通； 所述传送装置和所述清洗刷连接，带动所述清洗刷从所述清洗腔的内部移动至所述保湿腔的内部，或从所述保湿腔的内部移动至所述清洗腔的内部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人星钥半导体(武汉)有限公司，其通讯地址为：430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来科技城龙山南街6号展想新思中心1号楼8楼808单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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