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龙图腾网获悉中国船舶集团有限公司第七〇九研究所申请的专利一种芯片键合拉力与剪切力的自动化测试装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119043950B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411286579.2，技术领域涉及：G01N3/24；该发明授权一种芯片键合拉力与剪切力的自动化测试装置及方法是由王国雄;孙鹏越;姜宇航;陈雨浩设计研发完成，并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种芯片键合拉力与剪切力的自动化测试装置及方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种芯片键合拉力与剪切力的自动化测试装置及方法，属于微电子可靠性试验与失效技术领域，其中，三维扫描单元确定待处理芯片的键合丝和键合点的空间分布，生成空间分布3D成像图；路径获取单元对空间分布3D成像图进行识别判断，计算出拉钩或推刀的运动路径；推拉力施加单元配备有不同尺寸和量程的拉钩或推刀工装，对待处理芯片键合丝施加拉力或对键合点施加剪切力，并通过力传感器记录待处理芯片能够接受的力值；移动控制单元将推拉力施加单元沿路径获取单元所规划的路径运送到指定位置，并进行推拉力测试动作。本申请极大地提升了对于尺寸更小的先进封装芯片的键合拉力与剪切力测试的能力。

本发明授权一种芯片键合拉力与剪切力的自动化测试装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种芯片键合拉力与剪切力的自动化测试方法，其基于芯片键合拉力与剪切力的自动化测试装置，其特征在于，包括以下步骤： 步骤S1：通过三维扫描确定待处理芯片的键合丝和键合点的空间分布，生成空间分布3D成像图； 步骤S2：利用训练好的路径获取模型，对待处理芯片的空间分布3D成像图进行识别判断，并计算出拉钩或推刀的运动路径，以便拉钩或推刀悬停在键合丝和键合点对应位置； 步骤S3：判断步骤S2是否计算得到满足要求的拉钩或推刀的运动路径，若满足要求，则转至步骤S4，否则，更换拉钩或推刀尺寸，转至步骤S2； 步骤S4：根据键合丝的材质和直径，设定推拉力施加大小，移动拉钩或推刀，使拉钩或推刀接触待处理芯片键合丝或键合点，同时测量接触过程中的推力或拉力，获取待处理芯片的键合和剪切强度数据； 步骤S3具体包括以下步骤： 判断拉钩或推刀沿运动路径移动过程中，是否接触到待处理芯片，且拉钩或推刀能否悬停在键合丝正下方或键合点侧面，若均满足，则判定路径获取模型运算出满足要求的运动路径，否则，选择更小尺寸的拉钩或推刀，执行步骤S2，若仍无法得到满足要求的运动路径，则继续减小拉钩或推刀的尺寸，执行步骤S2，直至得到满足要求的运动路径；若采用最小拉钩或推刀执行步骤S2，获取的运动路径无法满足要求，则终止推拉力测试； 其中，芯片键合拉力与剪切力的自动化测试装置，包括：样品台、三维扫描单元、路径获取单元、推拉力施加单元和移动控制单元； 样品台的上方设置有推拉力施加单元；移动控制单元与推拉力施加单元相连；三维扫描单元与路径获取单元相连； 样品台用于将待处理芯片固定；三维扫描单元用于确定待处理芯片的键合丝和键合点的空间分布，生成空间分布3D成像图，传输至路径获取单元；路径获取单元用于对待处理芯片键合丝和键合点的空间分布3D成像图进行识别判断，计算出拉钩或推刀的运动路径；推拉力施加单元配备有不同尺寸和量程的拉钩或推刀工装，用于对待处理芯片耦合丝施加拉力或对键合点施加剪切力，并通过力传感器记录待处理芯片能够接受的力值；移动控制单元用于将推拉力施加单元沿路径获取单元所规划的路径运送到指定位置，并进行推拉力测试动作。

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