中国科学院上海技术物理研究所金钢获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海技术物理研究所申请的专利一种基于偏振光波前调制的非球面面形检测系统和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119354094B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411294056.2,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种基于偏振光波前调制的非球面面形检测系统和方法是由金钢;陈福春;胡凯;丛海佳设计研发完成,并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于偏振光波前调制的非球面面形检测系统和方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基于偏振光波前调制的非球面面形检测系统和方法,该系统包括共轴布置的激光干涉仪、第一孔径光阑、偏振分光棱镜、14波片、待测非球面,以及共轴布置的半波片、第二孔径光阑和空间光调制器;激光干涉仪发出球面波前,经过第一孔径光阑和偏振分光棱镜后偏振态变为水平线偏振态,经过14波片后偏振态变为圆偏振态,在待测非球面上反射,经过14波片后反射光变为竖直线偏振态,在偏振分光棱镜的偏振分光膜上反射,再通过半波片后变为水平线偏振态,穿过第二孔径光阑后被空间光调制器调制,调制后的光沿原光路返回形成干涉条纹,被激光干涉仪解析后得到测量数据。与现有技术相比,本发明具有无需增加补偿元件、易调测、通用性强等优点。
本发明授权一种基于偏振光波前调制的非球面面形检测系统和方法在权利要求书中公布了:1.一种基于偏振光波前调制的非球面面形检测系统,其特征在于,该系统包括共轴布置的激光干涉仪(1)、第一孔径光阑(2)、偏振分光棱镜(3)、14波片(4)和待测非球面(5),以及共轴布置的半波片(6)、第二孔径光阑(7)和空间光调制器(8); 所述激光干涉仪(1)发出球面波前,依次经过第一孔径光阑(2)和偏振分光棱镜(3)后偏振态变为水平线偏振态,经过14波片(4)后偏振态变为圆偏振态,在待测非球面(5)上反射,经过14波片(4)后反射光偏振态变为竖直线偏振态,在偏振分光棱镜(3)的偏振分光膜上反射,再通过半波片(6)后偏振态变为水平线偏振态,穿过第二孔径光阑(7)后被空间光调制器(8)调制,调制后的光沿原光路返回激光干涉仪(1),形成干涉条纹,被激光干涉仪(1)解析后得到测量数据; 所述调制后的光沿原光路返回具体为:调制后的光通过第二孔径光阑(7)和半波片(6),变为竖直线偏振态,在偏振分光棱镜(3)的分光膜上反射,反射后穿过14波片(4)变为圆偏振态,在待测非球面(5)上再次反射,反射光最后一次通过14波片(4)、偏振分光棱镜(3)和第一孔径光阑(2),偏振态变为水平线偏振态的光返回激光干涉仪(1),形成干涉条纹。
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