拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司臧超获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利管道连接件和半导体器件的工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223333747U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422364479.9，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型管道连接件和半导体器件的工艺设备是由臧超设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本管道连接件和半导体器件的工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种管道连接件和半导体器件的工艺设备。管道连接件包括：进气端，连接用于产生等离子体的等离子体源；以及出气端，连接反应腔室，以将所述等离子体传输至所述反应腔室，其中，所述出气端的管道内壁的底部包括多个气孔，用于通入保护气体在所述管道内壁的底部形成气垫，以在传输所述等离子体时将其与所述管道内壁隔绝。通过上述管道连接件，能够在等离子体的传输过程中避免等离子体对管道内壁的直接冲击，从而保护管道内壁，延长管道连接件的使用寿命。
本实用新型管道连接件和半导体器件的工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种管道连接件，其特征在于，包括： 进气端，连接用于产生等离子体的等离子体源；以及 出气端，连接反应腔室，以将所述等离子体传输至所述反应腔室，其中，所述出气端的管道内壁的底部包括多个气孔，用于通入保护气体在所述管道内壁的底部形成气垫，以在传输所述等离子体时将其与所述管道内壁隔绝。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司，其通讯地址为：110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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