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星钥半导体(武汉)有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉星钥半导体(武汉)有限公司申请的专利支撑组件、抛光头及化学机械抛光设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223326126U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422357260.6,技术领域涉及:B24B37/20;该实用新型支撑组件、抛光头及化学机械抛光设备是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

支撑组件、抛光头及化学机械抛光设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种支撑组件、抛光头及化学机械抛光设备,支撑组件,包括保持环和背膜,保持环包括第一环体和第二环体,第一环体和第二环体可拆卸地连接,第一环体与第二环体之间形成夹紧固定位,背膜被夹紧固定在夹紧固定位内,保持环环绕设置在背膜的外周,背膜与保持环之间形成晶圆固定腔。抛光头设有上述支撑组件,化学机械抛光设备设有上述抛光头,上述支撑组件可针对性地对自身零部件进行更换,进而降低使用成本。

本实用新型支撑组件、抛光头及化学机械抛光设备在权利要求书中公布了:1.支撑组件,包括保持环和背膜,其特征在于: 所述保持环包括第一环体和第二环体,所述第一环体和所述第二环体可拆卸地连接,所述第一环体与所述第二环体之间形成夹紧固定位,所述背膜被夹紧固定在所述夹紧固定位内,所述保持环环绕设置在所述背膜的外周,所述背膜与所述保持环之间形成晶圆固定腔。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人星钥半导体(武汉)有限公司,其通讯地址为:430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来科技城龙山南街6号展想新思中心1号楼8楼808单元;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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