深圳市易天自动化设备股份有限公司高军鹏获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉深圳市易天自动化设备股份有限公司申请的专利一种晶圆上下料及中转搬臂装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223333762U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422365057.3，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆上下料及中转搬臂装置是由高军鹏;陈涛;朱远福设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆上下料及中转搬臂装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种晶圆上下料及中转搬臂装置，包括上下料搬臂机构和中转搬臂机构；上下料搬臂机构包括上下料XYZ轴模组、上下料旋转模组、真空吸盘和真空压力表；上下料XYZ轴模组和上下料旋转模组用于实现真空吸盘空间XYZ轴和旋转运动；真空压力表用于实时监测真空压力大小；中转搬臂机构包括中转水平模组、升降模组、中转吸附平台组件，中转水平模组与中转升降模组用于实现中转吸附平台组件水平和升降运动。本实用新型采用XYZ轴模组和旋转模组实现真空吸盘水平、升降和旋转运动，有效提高晶圆上下料搬运范围；本实用新型提出设置中转搬臂机构，进一步提升晶圆搬运范围；本实用新型采用真空压力表实时监测真空压力，有效避免晶圆在搬运过程中滑落。
本实用新型一种晶圆上下料及中转搬臂装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆上下料及中转搬臂装置，其特征在于，包括上下料搬臂机构和中转搬臂机构；所述上下料搬臂机构包括上下料X轴模组、上下料Y轴模组、上下料Z轴模组、上下料旋转模组、真空吸盘和真空压力表；所述上下料X轴模组、所述上下料Y轴模组、所述上下料Z轴模组和所述上下料旋转模组配合运动用于带动所述真空吸盘轴向运动和旋转运动；所述真空压力表用于实时监测所述真空吸盘压力大小； 所述中转搬臂机构包括架体组件、中转水平模组、中转升降模组和中转吸附平台组件，所述中转吸附平台组件与所述中转升降模组连接，所述中转升降模组通过所述架体组件与所述中转水平模组连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市易天自动化设备股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区沙井街道沙头社区沙井南环路446号星展广场1栋A座401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励