上海馨欧集成微电有限公司吴进波获国家专利权
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龙图腾网获悉上海馨欧集成微电有限公司申请的专利弹性波谐振器及其通信器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119341506B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411393595.1,技术领域涉及:H03H9/17;该发明授权弹性波谐振器及其通信器件是由吴进波设计研发完成,并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本弹性波谐振器及其通信器件在说明书摘要公布了:本发明提供一种弹性波谐振器及其通信器件,包括叉指电极、压电薄膜、悬浮电极以及填充材料,采用填充材料取代部分悬浮电极,或在悬浮电极附近设置不同的填充材料,选择性设置悬浮电极线宽,用以改变在纵向电场以外区域存在振动分布的寄生模式的频率或位移分布,从而达到移走寄生模式或完全抑制寄生模式的目的。本方案是在不改变压电薄膜结构基础上的优化方案,更有利于结构稳定且能够大规模制造高性能的高频大带宽声波滤波器。
本发明授权弹性波谐振器及其通信器件在权利要求书中公布了:1.一种弹性波谐振器,其特征在于,包括: 叉指电极、压电薄膜、悬浮电极以及填充材料; 所述压电薄膜具有第一面和第二面; 所述叉指电极位于所述压电薄膜的第一面; 所述悬浮电极位于所述压电薄膜的第二面,与所述压电薄膜相接触,且所述悬浮电极与所述叉指电极对应设置以构成纵向电场区,且所述悬浮电极各位置的电位相同;所述填充材料位于所述压电薄膜的第二面,与所述悬浮电极相接触,且所述填充材料沿竖向的投影至少位于非纵向电场区,以通过所述填充材料抑制寄生模式或使得寄生模式远离目标模式,所述填充材料包括单层或复合叠层,其中至少一层包括导电材料; 所述目标模式为所述弹性波谐振器在纵向电场作用下激发的声波模式。
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