江苏阳铭互联智能系统有限公司申舰获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏阳铭互联智能系统有限公司申请的专利一种真空镀膜设备密封装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223329370U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422429716.5，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型一种真空镀膜设备密封装置是由申舰;李星星;张延任;张建德设计研发完成，并于2024-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空镀膜设备密封装置在说明书摘要公布了：本实用公开了一种真空镀膜设备密封装置，包括:通过设置采用含泛塞封密封环的密封机构与形成在所述法兰壳体、所述传动轴和两个所述真空轴承之间的填充腔，开设在所述法兰壳体上的第一通道和第二通道，与所述第一通道远离传动轴一端连接的N2充入装置，与所述第二通道远离传动轴一端连接的N2压力检测传感器组成的检测机构；可以检测特气泄漏情况，并维持填充腔内气压；相比于现有技术，可以检测是否漏气，同时对漏气情况进行补救，延缓或减少特气的泄漏；述泛塞封密封环、所述密封环压环和所述端面密封环沿传动轴轴向方向依次设置；相比于现有技术，可以降低成本，也降低安装的难度。
本实用新型一种真空镀膜设备密封装置在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜设备密封装置，其特征在于，包括：法兰壳体1，安装在所述法兰壳体1内壁的两个真空轴承2，套接在所述真空轴承2内壁的传动轴3，中心对称设置在所述法兰壳体1与所述传动轴3之间的两个密封机构4，设置在所述法兰壳体1上的检测机构5； 所述检测机构5包括：形成在所述法兰壳体1、所述传动轴3和两个所述真空轴承2之间的填充腔51，开设在所述法兰壳体1上的第一通道52和第二通道53，与所述第一通道52远离传动轴3一端连接的N2充入装置54，与所述第二通道53远离传动轴3一端设置的N2压力检测传感器55；所述第一通道52、所述第二通道53与所述填充腔51连通；所述N2压力检测传感器55连接所述N2充入装置54。
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