无锡富创得精密设备有限公司刘孟飞获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡富创得精密设备有限公司申请的专利一种掩膜板防灰翻转组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223333270U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422821560.5，技术领域涉及：G03F1/84；该实用新型一种掩膜板防灰翻转组件是由刘孟飞;郑青斌;宁坚;茅茂;曹金星;弓利军设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜板防灰翻转组件在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工设备，具体为一种掩膜板防灰翻转组件，包括用于夹紧掩膜板的防灰夹爪、驱动防灰夹爪张开及闭合的夹持单元，以及驱动夹持单元翻转的翻转单元；所述防灰夹爪连接外部清洁气源；所述翻转单元安装在升降单元的伸缩端；翻转作业时，升降单元改变翻转单元的高度，进而带动夹持单元完成往复升降动作，夹持单元驱动防灰夹爪完成开合动作，防灰夹爪在夹持动作中，持续吹气，避免翻转过程灰尘落附；本掩膜板防灰翻转组件，整体采用模块化结构，合理利用空间，节省设备空间，并且优化结构特征，将防灰除尘的气吹结构与夹爪结合，减少设备内部线路及设备复杂度，提高翻转动作效率，减少失误概率，提高整体的掩膜板检测效率。
本实用新型一种掩膜板防灰翻转组件在权利要求书中公布了：1.一种掩膜板防灰翻转组件，其特征在于，包括用于夹紧掩膜板500的防灰夹爪740、驱动防灰夹爪740张开及闭合的夹持单元730，以及驱动夹持单元730翻转的翻转单元720；所述防灰夹爪740连接外部清洁气源； 所述翻转单元720安装在升降单元710的伸缩端；翻转作业时，升降单元710改变翻转单元720的高度，进而带动夹持单元730完成往复升降动作，夹持单元730驱动防灰夹爪740完成开合动作，防灰夹爪740在夹持动作中，持续吹气，避免翻转过程灰尘落附。
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